[發明專利]表面檢查設備及方法

在審

• 申請號: 201510766110.3
• 申請日: 2015-11-11
• 公開（公告）號: CN105588839A
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發明（設計）人: 權五葰;柳敏虎;金敏貞;姜泰旭;宋升勇;劉正根
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;H01L21/66
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王新華

1.一種用于顯示裝置的表面檢查方法，包括：

將物體放置在工作臺上，所述工作臺包括相對于一平面以預定角度傾斜 的頂表面，所述平面具有第一方向和與所述第一方向交叉的第二方向；

經由表面檢查單元照射光到所述物體上，所述表面檢查單元包括干涉儀 和成像裝置，所述干涉儀具有在與所述平面交叉的第三方向上對準的光軸， 所述成像裝置接收通過所述干涉儀形成的干涉光；

獲得通過所述成像裝置捕獲的包括第一干涉條紋的第一圖像；

在所述第一方向和所述第二方向中的至少一個上移動所述表面檢查單 元和所述工作臺中的至少一個；

獲得通過所述成像裝置捕獲的包括第二干涉條紋的第二圖像；以及

在所述第三方向上移動所述表面檢查單元，從而修正所述第二干涉條紋 的相對于所述第一干涉條紋的移動。

2.如權利要求1所述的表面檢查方法，還包括，在放置所述物體之后， 校準所述表面檢查單元，使得所照射的光的焦點位于所述物體上。

3.如權利要求1或2所述的表面檢查方法，還包括，在獲得所述第二 圖像之后，

檢測并存儲相對于所述第一干涉條紋的所述第二干涉條紋的間隔和形 狀中的至少一個上的變化；以及

重構所述物體的對應于所述變化的表面形狀。

4.如權利要求1所述的表面檢查方法，其中所述工作臺的所述頂表面 相對于所述平面傾斜0.8度至16度。

5.如權利要求1的表面檢查方法，其中在所述第三方向上移動所述表 面檢查單元包括：

計算所述第一干涉條紋和所述第二干涉條紋的數目；以及

在所述第三方向上移動所述表面檢查單元，使得所述第二干涉條紋的數 目與所述第一干涉條紋的數目相同。

6.如權利要求1所述的表面檢查方法，其中在所述第三方向上移動所 述表面檢查單元包括用壓電元件在所述第三方向上移動所述表面檢查單元。

7.如權利要求1所述的表面檢查方法，其中所述干涉儀包括：

光源，配置為發射光；

參考反射鏡；

分束器，配置為將所發射的光分成被引向所述物體的第一光和被引向所 述參考反射鏡的第二光；以及

聚焦透鏡，放置在所述第一光的路徑上，

其中經由表面檢查單元照射光到所述物體上包括將所發射的光聚焦在 所述物體上。

8.一種用于顯示裝置的表面檢查設備，包括：

工作臺，配置為支撐物體并具有相對于一平面以預定角度傾斜的頂表 面，所述平面具有第一方向和與所述第一方向交叉的第二方向；

表面檢查單元，包括干涉儀和成像裝置，所述干涉儀具有在與所述平面 交叉的第三方向上對準的光軸并被配置為發射干涉光，所述成像裝置被配置 為接收來自所述干涉儀的所述干涉光；

水平驅動器，配置為在所述第一方向和所述第二方向中的至少一個上移 動所述表面檢查單元和所述工作臺中的至少一個；

垂直驅動器，配置為在所述第三方向上移動所述表面檢查單元；以及

控制器，配置為控制所述水平驅動器和所述垂直驅動器。

9.如權利要求8所述的表面檢查設備，其中所述頂表面相對于所述平 面傾斜0.8度至16度。

10.如權利要求8或9所述的表面檢查設備，

其中所述成像裝置被進一步配置為借助于所述水平驅動器移動所述表 面檢查單元和所述工作臺中的至少一個并獲得包括干涉條紋的圖像，以及

其中所述控制器被進一步配置為控制所述垂直驅動器以修正所述干涉 條紋的移動并在所述第三方向上移動所述表面檢查單元。

11.如權利要求10所述的表面檢查設備，其中所述控制器包括計算器， 所述計算器配置為計算所述圖像中包括的干涉條紋的數目。