[發(fā)明專利]自催化生長大尺寸β?Ga2O3微米線的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510735744.2 | 申請(qǐng)日： | 2015-11-03 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105481002B | 公開（公告）日： | 2017-04-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馮秋菊;劉佳媛;徐坤;楊毓琪;潘德柱;李夢(mèng)軻 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 遼寧師范大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C01G15/00 | 分類號(hào)： | C01G15/00 |
| 代理公司： | 大連非凡專利事務(wù)所21220 | 代理人： | 閃紅霞 |
| 地址： | 116029 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 催化 生長 尺寸 ga sub 微米 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種自催化生長大尺寸β-Ga2O3微米線的方法，其特征在于按如下步驟進(jìn)行：
a. 將純度為99.99%的金屬鎵單質(zhì)作為反應(yīng)源材料，將反應(yīng)源材料放在石英舟內(nèi)，然后再將石英舟放入化學(xué)氣相沉積設(shè)備石英管內(nèi)的高溫加熱區(qū)；
b. 將生長室內(nèi)的壓力控制在10Pa，通入氬氣為載氣，氬氣流量為60ml/min；
c. 當(dāng)加熱溫度達(dá)到1050℃時(shí)通入氧氣，氧氣流量為10ml/min，生長時(shí)間為30分鐘；
d. 關(guān)閉氧氣，保持氬氣流量，降溫至100℃以下，取出產(chǎn)品。
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