[發(fā)明專利]一種管式POCl3擴散方阻自動調(diào)整方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510718906.1
• 申請日: 2015-10-29
• 公開（公告）號: CN105428226A
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚劍;韓曉輝;王廣為;邱江南;翟穎晗
• 申請（專利權(quán)）人: 晉能清潔能源科技有限公司
• 主分類號: H01L21/228
• 分類號: H01L21/228;H01L31/18
• 代理公司: 鎮(zhèn)江京科專利商標(biāo)代理有限公司 32107
• 代理人: 夏哲華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種晶體硅太陽能電池的制作方法，具體地說是一種管式POCl₃擴散方阻自動調(diào)整方法。

背景技術(shù)

目前，在晶體硅太陽電池制造行業(yè)，P型襯底晶硅太陽能電池擴散制備pn結(jié)主要采用管式液態(tài)磷源高溫擴散方式；一般通過調(diào)整爐管溫度或攜帶磷源的小氮流量來調(diào)控小范圍內(nèi)的擴散方阻波動。爐管溫度調(diào)整的常見方法是在連續(xù)數(shù)管內(nèi)，保持沉積步溫度不變，待方阻波動至一定范圍后，對沉積步溫度進行調(diào)整，然后再連續(xù)生產(chǎn)數(shù)管，以此反復(fù)；另一種方法則基于實際測量的方阻與目標(biāo)方阻的差異，基于既有經(jīng)驗，通過小氮流量設(shè)定變化來調(diào)整擴散方阻。盡管這些方法在一定程度上起到了擴散方阻的穩(wěn)定工作，但受限于爐管自身差異、磷源源瓶液位高度的持續(xù)變化，這些方法均具有很大的局限性。同時，受限于工程師能力差異，上述調(diào)節(jié)方法本身更具有很大的風(fēng)險性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)過程擴散方阻的自動調(diào)節(jié)的管式POCl₃擴散方阻自動調(diào)整方法。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的管式POCl₃擴散方阻自動調(diào)整方法，包括液態(tài)磷源擴散設(shè)備、自動上下料機器以及與液態(tài)磷源擴散設(shè)備、自動上下料機器連接的計算機，各個液態(tài)磷源擴散設(shè)備具有與之對應(yīng)的通過軟件程序自動生成的DLV文件，計算機內(nèi)存儲上述DLV文件并能夠?qū)Ω鱾€液態(tài)磷源擴散設(shè)備對應(yīng)溫區(qū)的方阻值進行計算處理，計算時各個溫區(qū)分開獨立計算，對應(yīng)公式如下：

A(R)m=Σi=1nRin]]>

CTEMP_m＝(A(R)m-R_target)×K_corr+CTEMP+TEM_de

其中A(R)_m代表連續(xù)生產(chǎn)n舟的對應(yīng)溫區(qū)的方阻均值，Ri為第i舟對應(yīng)溫區(qū)的方阻計算值，CTEMP_m為第m次的自動調(diào)整溫度值，R_target為預(yù)設(shè)目標(biāo)方阻值，K_corr為與磷源液位高度相關(guān)的第m次溫度調(diào)整的溫度修正系數(shù)，CTEMP為爐管初始設(shè)定沉積溫度,TEM_de為爐管不同溫區(qū)的沉積溫度補償值；

在生產(chǎn)過程中，液態(tài)磷源擴散設(shè)備自動調(diào)用并讀取DLV文件的相關(guān)參數(shù)，通過對DLV參數(shù)的調(diào)用，自動對液態(tài)磷源擴散設(shè)備內(nèi)不同溫區(qū)的擴散溫度進行調(diào)整。

所述計算機還與一個方阻測試設(shè)備連接，所述方阻測試設(shè)備能夠?qū)Ψ阶柚颠M行測試。

所述液態(tài)磷源擴散設(shè)備為管式擴散爐。

采用上述的方法后，由于各個液態(tài)磷源擴散設(shè)備具有與之對應(yīng)的通過軟件程序自動生成的DLV文件，計算機內(nèi)存儲上述DLV文件并能夠?qū)Ω鱾€液態(tài)磷源擴散設(shè)備對應(yīng)溫區(qū)的方阻值進行計算處理，由此建立的數(shù)據(jù)鏈接變量文件DLV，在生產(chǎn)過程中，通過DLV文件的自動調(diào)用，實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)過程擴散方阻的自動調(diào)節(jié)；除能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定、均勻的爐管擴散方阻外，基于各個爐管單獨存儲的DLV文件，能夠詳細保存計算獲得的各管不同溫區(qū)的擴散沉積溫度；基于上述溫度匯總數(shù)據(jù)，可以方便快捷地對比出不同爐管的沉積溫度差異，進而更有效地實現(xiàn)擴散工段的整體優(yōu)化。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施方式，對本發(fā)明的POCl₃擴散方阻自動調(diào)整方法作進一步詳細說明。

本發(fā)明的POCl₃擴散方阻自動調(diào)整方法，包括液態(tài)磷源擴散設(shè)備、自動上下料機器、方阻測試設(shè)備以及與液態(tài)磷源擴散設(shè)備、自動上下料機、方阻測試設(shè)備連接的計算機，液態(tài)磷源擴散設(shè)備優(yōu)選為管式擴散爐，自動上下料機優(yōu)選為羅伯特科自動上下料設(shè)備，方阻測試設(shè)備優(yōu)選為Semilab方阻自動檢測(測試光電壓)設(shè)備，針對各個液態(tài)磷源擴散設(shè)備具有通過軟件程序自動生成的DLV文件，計算機內(nèi)存儲上述DLV文件并能夠?qū)Ω鱾€液態(tài)磷源擴散設(shè)備對應(yīng)溫區(qū)的方阻值進行計算處理，公式如下：