[發(fā)明專利]一種管式POCl3擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510718906.1
• 申請(qǐng)日: 2015-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN105428226A
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚劍;韓曉輝;王廣為;邱江南;翟穎晗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 晉能清潔能源科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/228
• 分類號(hào): H01L21/228;H01L31/18
• 代理公司: 鎮(zhèn)江京科專利商標(biāo)代理有限公司 32107
• 代理人: 夏哲華

1.一種POCl₃擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法，其特征在于：包括液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下料機(jī)器以及與液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備、自動(dòng)上下料機(jī)器連接的計(jì)算機(jī)，各個(gè)所述液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備具有與之對(duì)應(yīng)的通過(guò)軟件程序自動(dòng)生成的DLV文件，所述計(jì)算機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)上述DLV文件并能夠?qū)Ω鱾€(gè)所述液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻值進(jìn)行計(jì)算處理，計(jì)算時(shí)各個(gè)溫區(qū)分開獨(dú)立計(jì)算，對(duì)應(yīng)公式如下：

A(R)m=Σi=1nRin]]>

CTEMP_m＝(A(R)m-R_target)×K_corr+CTEMP+TEM_de

其中A(R)_m代表連續(xù)生產(chǎn)n舟的對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻均值，Ri為第i舟對(duì)應(yīng)溫區(qū)的方阻計(jì)算值，CTEMP_m為第m次的自動(dòng)調(diào)整溫度值，R_target為預(yù)設(shè)目標(biāo)方阻值，K_corr為與磷源液位高度相關(guān)的第m次溫度調(diào)整的溫度修正系數(shù)，CTEMP為爐管初始設(shè)定沉積溫度,TEM_de為爐管不同溫區(qū)的沉積溫度補(bǔ)償值；

在生產(chǎn)過(guò)程中，液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備自動(dòng)調(diào)用并讀取DLV文件的相關(guān)參數(shù)，通過(guò)對(duì)DLV參數(shù)的調(diào)用，自動(dòng)對(duì)液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備內(nèi)不同溫區(qū)的擴(kuò)散溫度進(jìn)行調(diào)整。

2.按照權(quán)利要求1所述的POCl₃擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法，其特征在于：所述計(jì)算機(jī)還與一個(gè)方阻測(cè)試設(shè)備連接，所述方阻測(cè)試設(shè)備能夠?qū)Ψ阶柚颠M(jìn)行測(cè)試。

3.按照權(quán)利要求1所述的POCl₃擴(kuò)散方阻自動(dòng)調(diào)整方法，其特征在于：所述液態(tài)磷源擴(kuò)散設(shè)備為管式擴(kuò)散爐。