[發明專利]光譜計、光譜計的制造方法以及光譜計的操作方法

有效

• 申請號: 201510718129.0
• 申請日: 2015-10-29
• 公開（公告）號: CN105571717B
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: C·奧伯米勒
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G01J3/02
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 鄭立柱;張昊

本發明涉及光譜計、光譜計的制造方法以及光譜計的操作方法。在各個實施例中，提供了一種光譜計。光譜計可以包括：第一鏡單元，對于至少一個波長或波長范圍的電磁輻射是半透明的；以及第二鏡單元，包括面對第一鏡單元的第一區域和第二區域，第一區域和第二區域的至少一部分與第一鏡單元隔開，第一區域對于至少一個波長或波長范圍的電磁輻射是至少部分反射的，第二區域包括光電檢測器的至少一部分，光電檢測器被配置為檢測至少一個波長或波長范圍的電磁輻射。

技術領域

本發明的各個實施例總體上涉及光譜計、光譜計的制造方法和光譜計的操作方法。

背景技術

具有用于電磁輻射的干涉儀的光譜計可需要鏡面系統和檢測器。傳統的干涉儀可具有大約為幾立方厘米的大小。因此，這種光譜計太大而不能用于限制大小的應用，諸如智能手機或汽車應用。

發明內容

在各個實施例中，提供了光譜計。該光譜計可包括：第一鏡單元，其對于至少一個波長或波長范圍的電磁輻射是半透明的；以及第二鏡單元，具有面對第一鏡單元的第一區域和第二區域，其中第一區域和第二區域的至少一部分與第一鏡單元隔開，其中第一區域至少部分地反射至少一個波長或波長范圍的電磁輻射，其中第二區域包括光電檢測器的一部分，并且其中光電檢測器被配置為檢測至少一個波長或波長范圍的電磁輻射。

附圖說明

在附圖中，類似的參考標號在不同附圖中一般表示相同的部分。附圖不需要按比例繪制，相反重點在于示出本發明的原理。在以下描述中，參照以下附圖描述本發明的各個實施例，其中：

圖1A和圖1B示出了根據各個實施例的光譜計的元件；

圖1C示出了根據各個實施例的由光譜計確定的光譜；

圖2A和圖2B示出了根據各個實施例的光譜計的元件；

圖2C示出了根據各個實施例的由光譜計確定的光譜；

圖3A至圖3C示出了根據各個實施例的光譜計的元件；

圖4A和圖4B示出了根據各個實施例的光譜計的元件；

圖5示出了根據各個實施例的光譜計；

圖6示出了根據各個實施例的圖5的光譜計的元件；

圖7示出了根據各個實施例的光譜計的第一鏡單元；

圖8A和圖8B示出了根據各個實施例的光譜計的第一鏡單元的兩個示例；

圖9A至圖9E示出了根據各個實施例的光譜計的第一鏡單元的各個示例；

圖10示出了根據各個實施例的光譜計的第二鏡單元；

圖11A至圖11D示出了根據各個實施例的光譜計的第二鏡單元的各個示例；

圖12示出了根據各個實施例的用于光譜計中的距離確定和/或驅動的電極的示意圖；

圖13示出了根據各個實施例的用于光譜計中的距離確定和/或驅動的電極的示意圖；

圖14示出了根據各個實施例的用于制造光譜計的方法的流程圖；以及

圖15示出了根據各個實施例的用于操作光譜計的方法的流程圖。

具體實施方式

以下詳細描述參照附圖，其中通過說明示出了可以實踐本發明的具體細節和實施例。

本文使用的術語“示例性”表示“用作示例、例子或說明”。本文描述為“示例性”的任何實施例或設計都不需要相對于其他實施例或設計是優選或有利的。