[發(fā)明專利]光譜計、光譜計的制造方法以及光譜計的操作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510718129.0
• 申請日: 2015-10-29
• 公開（公告）號: CN105571717B
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: C·奧伯米勒
• 申請（專利權(quán)）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G01J3/02
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 鄭立柱;張昊

1.一種光譜計，包括：

第一鏡單元，對于至少一個波長或波長范圍的電磁輻射是半透明的；其中所述第一鏡單元由塊狀半透明材料形成；以及

第二鏡單元，包括面對所述第一鏡單元的第一區(qū)域和第二區(qū)域，其中所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域的至少一部分與所述第一鏡單元隔開，其中所述第一區(qū)域?qū)τ谒鲋辽僖粋€波長或波長范圍的電磁輻射是至少部分反射的，其中所述第二區(qū)域包括光電檢測器的至少一部分，以及其中所述光電檢測器被配置為檢測所述至少一個波長或波長范圍的電磁輻射，其中所述第一區(qū)域至少部分地環(huán)繞所述第二區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜計，

其中所述第一鏡單元被形成為使得所述第一鏡單元的至少一部分在朝向所述第二鏡單元的方向或者遠離所述第二鏡單元的方向中的至少一個方向上可偏轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜計，

其中所述第一鏡單元包括隔膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜計，

其中所述第一鏡單元包括至少一個彈性元件和平坦區(qū)域，其中所述平坦區(qū)域通過所述至少一個彈性元件安裝為可偏轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜計，

其中所述第一區(qū)域包括所述光電檢測器的一部分。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜計，

其中所述第一鏡單元包括第一表面，以及所述第二鏡單元包括面對所述第一表面的第二表面，其中所述第一表面和所述第二表面至少部分地相互平行。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜計，

還包括位于所述第一鏡單元和所述第二鏡單元之間的孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜計，

還包括被配置為偏轉(zhuǎn)所述第一鏡單元的所述可偏轉(zhuǎn)部分的至少一個驅(qū)動電路。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光譜計，

其中所述第一鏡單元包括耦合至所述至少一個驅(qū)動電路的第一電極，以及所述第二鏡單元包括至少部分地面對所述第一電極且耦合至所述至少一個驅(qū)動電路的第二電極。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光譜計，

其中所述至少一個驅(qū)動電路包括第一驅(qū)動電路和第二驅(qū)動電路，其中所述第一驅(qū)動電路被配置為粗調(diào)所述第一鏡單元和所述第二鏡單元之間的距離，以及所述第二驅(qū)動電路被配置為細調(diào)所述第一鏡單元和所述第二鏡單元之間的距離。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光譜計，其中所述第一鏡單元包括耦合至所述第一驅(qū)動電路的第一電極和耦合至所述第二驅(qū)動電路的第二電極，并且

其中所述第二鏡單元包括至少一個電極，所述至少一個電極耦合至所述第一驅(qū)動電路或所述第二驅(qū)動電路中的至少一個驅(qū)動電路并且至少部分地面對所述第一鏡單元的所述第一電極或所述第二電極中的至少一個。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光譜計，其中所述第二鏡單元包括耦合至所述第一驅(qū)動電路并且至少部分地面對所述第一鏡單元的所述第一電極的第三電極以及耦合至所述第二驅(qū)動電路并且至少部分地面對所述第一鏡單元的所述第二電極的第四電極。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光譜計，其中所述第一鏡單元包括耦合至所述第一驅(qū)動電路或所述第二驅(qū)動電路中的至少一個驅(qū)動電路的至少一個電極，并且

其中所述第二鏡單元包括耦合至所述第一驅(qū)動電路的第一電極和耦合至所述第二驅(qū)動電路的第二電極，所述第一電極和所述第二電極至少部分地面對所述第一鏡單元的至少一個電極。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜計，

還包括確定所述第一鏡單元和所述第二鏡單元之間的距離的距離確定電路。