[發明專利]基板傳送方法

在審

• 申請號: 201510657612.2
• 申請日: 2015-10-13
• 公開（公告）號: CN105236141A
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 黃佳音
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種基板傳送方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、提供一上游機臺(1)與下游機臺(2)，所述上游機臺(1)包括一機械手臂(10)與出片傳感器(15)；所述下游機臺(2)包括一收片載臺(20)與收片傳感器(25)；

所述機械手臂(10)包括兩個平行設置的叉片分支(11)，所述叉片分支(11)用于在傳片過程中裝載和支撐基板(30)；

步驟2、在所述機械手臂(10)上承載數片基板(30)后，所述機械手臂(10)移動至出片傳感器(15)并觸發出片傳感器(25)，上游機臺(1)向下游機臺(2)發送鏈接信號，所述鏈接信號包括機械手臂(10)上承載的數片基板(30)的位置信息與資料信息；

步驟3、所述上游機臺(1)與下游機臺(2)進行信號交握，所述下游機臺(2)接收所述鏈接信號，之后所述上游機臺(1)通過機械手臂(10)將基板(30)傳遞至下游機臺(2)的收片載臺(20)上；

步驟4、所述下游機臺(2)接收基板(30)后觸發收片傳感器(25)，下游機臺(2)根據接收到的基板(30)的位置信息將基板(30)的資料信息分配給每一片基板(30)；

步驟5、下游機臺(2)對基板(30)進行制程操作。

2.如權利要求1所述的基板傳送方法，其特征在于，每片基板(30)的位置信息用一個比特位表示：1代表有片，0代表無片。

3.如權利要求2所述的基板傳送方法，其特征在于，所述機械手臂(10)一次傳送4片基板(30)。

4.如權利要求3所述的基板傳送方法，其特征在于，位置信息1111、0111、1011、1101、1110分別代表機械手臂(10)滿片、一叉片分支(11)前端缺片、一叉片分支(11)后端缺片、另一叉片分支(11)前端缺片、另一叉片分支(11)后端缺片。

5.如權利要求3所述的基板傳送方法，其特征在于，位置信息1010代表一叉片分支(11)后端缺片且另一叉片分支(11)后端缺片。

6.如權利要求2所述的基板傳送方法，其特征在于，所述機械手臂(10)一次傳送2片基板(30)。

7.如權利要求6所述的基板傳送方法，其特征在于，位置信息11、01、10分別代表機械手臂(10)滿片、一叉片分支(11)前端缺片、一叉片分支(11)后端缺片。

8.如權利要求1所述的基板傳送方法，其特征在于，所述基板(30)為液晶顯示面板。