[發(fā)明專利]片上系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510645551.8
• 申請日: 2015-10-08
• 公開（公告）號: CN105489643B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 白尚訓(xùn);樸善暎;吳祥奎;金夏永;都楨湖;裴武奎;李昇映
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L29/423
• 分類號: H01L29/423;H01L27/088
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強(qiáng);尹淑梅

提供了一種片上系統(tǒng)。所述片上系統(tǒng)(SoC)包括：第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線，沿第一方向延伸；柵極隔離區(qū)域，切割第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線，并且沿橫跨第一方向的第二方向延伸；第一柵極接觸件，形成在布置于第一柵極線和第三柵極線之間的第二柵極線上，并且電連接切割的第二柵極線；第二柵極接觸件，形成在第一柵極線上；第三柵極接觸件，形成在第三柵極線上；第一金屬線，電連接第二柵極接觸件和第三柵極接觸件；以及第二金屬線，電連接到第一柵極接觸件。

本申請要求于2014年10月1日提交的臨時申請第62/058291號的權(quán)益并要求于2015年4月22日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請第10-2015-0056266號的優(yōu)先權(quán)，這兩個申請的公開內(nèi)容通過引用全部合并于此。

技術(shù)領(lǐng)域

示例性實(shí)施例涉及一種片上系統(tǒng)(SoC)，更具體地，涉及包括柵極接觸結(jié)構(gòu)的SoC。

背景技術(shù)

作為縮放技術(shù)之一，已經(jīng)提出了多柵極晶體管，以提高半導(dǎo)體裝置的密度，其中，在基底上形成以鰭片或納米線形式的多溝道有源圖案(或硅體)，然后，在多溝道有源圖案表面上形成柵極。

因為多柵極晶體管使用三維溝道，所以便于縮放。此外，可在不必增大多柵極晶體管的柵極的長度的情況下增強(qiáng)電流控制能力。而且，能夠有效地控制其中溝道區(qū)域中的電勢受漏極電壓的影響的短溝道效應(yīng)(SCE)。

發(fā)明內(nèi)容

一個或更多個示例性實(shí)施例提供一種使用柵極接觸結(jié)構(gòu)的具有3-接觸多間距(3CPP)交叉耦合節(jié)點(diǎn)的片上系統(tǒng)(SoC)。

由示例性實(shí)施例所解決的目的可能不限于上述的那些，因此，基于下面提供的描述，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將會清楚地理解本文中未提及的其他目的。

根據(jù)示例性實(shí)施例的方面，提供一種片上系統(tǒng)(SoC)，該片上系統(tǒng)包括：第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線，沿第一方向延伸；柵極隔離區(qū)域，切割第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線，并且沿橫跨第一方向的第二方向延伸；第一柵極接觸件，形成在布置于第一柵極線和第三柵極線之間的第二柵極線上，并且電連接切割的第二柵極線；第二柵極接觸件，形成在第一柵極線上；第三柵極接觸件，形成在第三柵極線上；第一金屬線，電連接第二柵極接觸件和第三柵極接觸件；以及第二金屬線，電連接到第一柵極接觸件。

根據(jù)另一個示例性實(shí)施例的方面，提供一種片上系統(tǒng)(SoC)，該片上系統(tǒng)包括：第一有源鰭片(active fin)和第二有源鰭片，沿第一方向延伸并且在橫跨第一方向的第二方向上彼此分隔開；第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線，在第一有源鰭片和第二有源鰭片上沿第二方向延伸；柵極隔離區(qū)域，在第一有源鰭片和第二有源鰭片之間沿第一方向延伸，柵極隔離區(qū)域切割第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線；第一柵極接觸件，在布置于第一柵極線和第三柵極線之間的第二柵極線上沿第二方向延伸，并且電連接切割的第二柵極線；第二柵極接觸件，在第一有源鰭片與第一柵極線之間的交叉區(qū)域處形成在第一柵極線上；第三柵極接觸件，在第二有源鰭片與第三柵極線之間的交叉區(qū)域處形成在第三柵極線上；第一金屬線，電連接第二柵極接觸件和第三柵極接觸件；以及第二金屬線，電連接到第一柵極接觸件。

根據(jù)另一個示例性實(shí)施例的方面，提供一種片上系統(tǒng)(SoC)，該片上系統(tǒng)包括：第一柵極線和第二柵極線，沿第一方向延伸；柵極隔離區(qū)域，切割第一柵極線和第二柵極線，并且沿橫跨第一方向的第二方向延伸；第一柵極接觸件，形成在切割的第一柵極線上并電連接切割的第一柵極線；第二柵極接觸件，形成在第二柵極線上；第一通孔結(jié)構(gòu)，形成在第一柵極接觸件上；第二通孔結(jié)構(gòu)，形成在第二柵極接觸件上；以及金屬線，連接第一通孔結(jié)構(gòu)和第二通孔結(jié)構(gòu)，并且電連接第一柵極接觸件和第二柵極接觸件。