[發明專利]片上系統

有效

• 申請號: 201510645551.8
• 申請日: 2015-10-08
• 公開（公告）號: CN105489643B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 白尚訓;樸善暎;吳祥奎;金夏永;都楨湖;裴武奎;李昇映
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L29/423
• 分類號: H01L29/423;H01L27/088
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強;尹淑梅

1.一種片上系統，所述片上系統包括：

第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線，沿第一方向延伸；

柵極隔離區域，切割第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線，并且沿橫跨第一方向的第二方向延伸；

第一柵極接觸件，形成在布置于第一柵極線和第三柵極線之間的第二柵極線上，并且電連接切割的第二柵極線；

第二柵極接觸件，形成在第一柵極線上；

第三柵極接觸件，形成在第三柵極線上；

第一金屬線，電連接第二柵極接觸件和第三柵極接觸件；以及

第二金屬線，電連接到第一柵極接觸件。

2.根據權利要求1所述的片上系統，其中，第一柵極接觸件被布置為沿第一方向延伸并連接切割的第二柵極線。

3.根據權利要求1所述的片上系統，其中，第一柵極接觸件的下表面被布置為高于切割的第二柵極線的上表面。

4.根據權利要求1所述的片上系統，其中，切割的第一柵極線或者切割的第三柵極線包括虛擬柵極線。

5.根據權利要求4所述的片上系統，其中，切割的第一柵極線包括第一虛擬柵極線，切割的第三柵極線包括第二虛擬柵極線。

6.根據權利要求5所述的片上系統，其中，第一虛擬柵極線和第二虛擬柵極線被布置為關于柵極隔離區域彼此相對。

7.根據權利要求1所述的片上系統，所述片上系統還包括：在第一柵極接觸件上形成的第一通孔結構、在第二柵極接觸件上形成的第二通孔結構以及在第三柵極接觸件上形成的第三通孔結構。

8.根據權利要求7所述的片上系統，其中，第一金屬線布置在第二通孔結構和第三通孔結構上，第二金屬線布置在第一通孔結構上，第一金屬線通過連接第二通孔結構和第三通孔結構來將第二柵極接觸件和第三柵極接觸件彼此電連接，第二金屬線通過第一通孔結構電連接到第一柵極接觸件。

9.根據權利要求1所述的片上系統，其中，第一柵極接觸件包含銅或鎢。

10.一種片上系統，所述片上系統包括：

第一有源鰭片和第二有源鰭片，沿第一方向延伸并且在橫跨第一方向的第二方向上彼此分隔開；

第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線，在第一有源鰭片和第二有源鰭片上沿第二方向延伸；

柵極隔離區域，在第一有源鰭片和第二有源鰭片之間沿第一方向延伸，柵極隔離區域切割第一柵極線、第二柵極線和第三柵極線；

第一柵極接觸件，在布置于第一柵極線和第三柵極線之間的第二柵極線上沿第二方向延伸，并且電連接切割的第二柵極線；

第二柵極接觸件，形成在第一有源鰭片與第一柵極線之間的交叉區域處的第一柵極線上；

第三柵極接觸件，形成在第二有源鰭片與第三柵極線之間的交叉區域處的第三柵極線上；

第一金屬線，電連接第二柵極接觸件和第三柵極接觸件；以及

第二金屬線，電連接到第一柵極接觸件。

11.根據權利要求10所述的片上系統，其中，第一柵極接觸件的下表面被布置為高于切割的第二柵極線的上表面。

12.根據權利要求10所述的片上系統，其中，切割的第一柵極線或者切割的第三柵極線包括虛擬柵極線。

13.根據權利要求12所述的片上系統，其中，切割的第一柵極線包括第一虛擬柵極線，切割的第三柵極線包括第二虛擬柵極線。

14.根據權利要求13所述的片上系統，其中，第一虛擬柵極線和第二虛擬柵極線被布置為關于柵極隔離區域彼此相對。

15.根據權利要求10所述的片上系統，其中，第一柵極接觸件至第三柵極接觸件被布置在同一平面上。