[發明專利]制造顯示裝置的裝置和方法

有效

• 申請號: 201510645298.6
• 申請日: 2015-10-08
• 公開（公告）號: CN105489630B
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 許明洙;高東均;張喆旼;金圣哲;金仁敎;盧喆來
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星

公開了一種制造顯示裝置的裝置和方法。在一方面，該裝置包括室和形成在室中并被配置為形成至少一個無機層的無機層形成噴嘴單元。該裝置還包括形成在室中并被配置為形成至少一個有機層的有機層形成噴嘴單元，其中，有機層形成噴嘴單元與無機層形成噴嘴單元基本上直列地布置。該裝置還包括形成在無機層形成噴嘴單元與有機層形成噴嘴單元之間并被配置為噴射惰性氣體的分隔噴嘴單元。

本申請要求于2014年10月6日在韓國知識產權局提交的第10-2014-0134487號韓國專利申請的權益，該韓國專利申請的公開內容通過引用全部包含于此。

技術領域

所描述的技術總體上涉及一種制造顯示裝置的裝置和方法。

背景技術

便攜式或移動設備已被廣泛使用。例如，平板電腦是移動電子設備的常見示例，除了諸如移動電話的小尺寸電子設備之外。

這些電子設備包括顯示單元，用于支持各種功能并向用戶提供諸如圖像或視頻的可視信息。最近，隨著用于驅動顯示單元的組件已經被小型化，顯示單元已經逐漸地增大尺寸。此外，已經開發出能夠被彎曲(即，具有相對于平坦構造的預定角度)的顯示器。

發明內容

一個發明方面是一種用于制造顯示裝置的裝置和制造顯示裝置的方法。

另一個方面是一種用于制造顯示裝置的裝置，該裝置包括：室；無機層形成噴嘴單元，形成在室中，用于形成無機層；有機層形成噴嘴單元，形成在室中，并被布置為無機層形成噴嘴單元順列以形成有機層；以及分隔噴嘴單元，形成在無機層形成噴嘴單元與有機層形成噴嘴單元之間以噴射惰性氣體。

無機層形成噴嘴單元和分隔噴嘴單元以及有機層形成噴嘴單元和分隔噴嘴單元可被形成為彼此分隔開，室中的氣體可在無機層形成噴嘴單元與分隔噴嘴單元之間以及有機層形成噴嘴單元與分隔噴嘴單元之間被抽吸。

所述裝置還可包括形成在所述室中以直線地移動的傳送單元，其中，其上形成有顯示單元的基底被安裝在傳送單元上。

無機層形成噴嘴單元可包括：源氣體供給噴嘴單元，包括第一空間，源氣體被供給到第一空間以被噴射；等離子體供給噴嘴單元，包括第二空間，反應氣體被供給到第二空間以產生等離子體，等離子體供給噴嘴單元向外部噴射等離子體；以及吹掃氣體供給噴嘴單元，與源氣體供給噴嘴單元和等離子體供給噴嘴單元中的至少一個分開，并供給吹掃氣體。

等離子體供給噴嘴單元可包括：反應氣體供給單元，形成在第二空間中并包括第三空間，使得可通過第三空間供給反應氣體；以及等離子體供給噴嘴主體，被設置為圍繞反應氣體供給單元以與反應氣體供給單元形成第二空間，并與反應氣體供給單元產生電勢差以從反應氣體(從第三空間供給到第二空間的)產生等離子體。

有機層形成噴嘴單元可包括噴頭，噴頭供給來自外部的沉積氣體以形成活化的離子物種并噴射活化的離子物種。

有機層形成噴嘴單元可包括：外部，形成外觀；絕緣單元，形成在外部中并在其中包括噴頭；以及第二電源單元，用于在外部與噴頭之間產生電勢差。

無機層形成噴嘴單元、分隔噴嘴單元和有機層形成噴嘴單元可順序地布置。

有機層形成噴嘴單元、分隔噴嘴單元和無機層形成噴嘴單元可順序地布置。

無機層形成噴嘴單元和有機層形成噴嘴單元中的至少一者可設置為多個。

分隔噴嘴單元可形成在兩個相鄰的無機層形成噴嘴單元之間或兩個相鄰的有機層形成噴嘴單元之間。

所述裝置還可包括卸載單元，卸載單元用于通過連接到所述室來從所述室卸載基底，在所述室中，其上形成有顯示單元的基底被運送，并且通過形成無機層和有機層中的至少一個在顯示單元上形成薄膜包封層。