[發明專利]靶材組件及其制造方法

有效

• 申請號: 201510631227.0
• 申請日: 2015-09-29
• 公開（公告）號: CN106555161B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;大巖一彥;王學澤;李健成
• 申請（專利權）人: 合肥江豐電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高靜;吳敏

1.一種靶材組件的制造方法，其特征在于，包括：

提供靶坯和背板，所述靶坯的待焊接面為第一焊接面，所述背板的待焊接面為第二焊接面；

對所述靶坯的第一焊接面進行表面處理，去除所述第一焊接面表面的氧化膜；

對所述靶坯的第一焊接面進行表面處理之后，在所述第一焊接面上涂覆第一焊料層；

將涂覆有所述第一焊料層的第一焊接面和第二焊接面相對設置并貼合，通過焊接工藝將所述靶坯焊接至所述背板上，形成靶材組件；

冷卻所述靶材組件；

所述靶材組件的制造方法還包括：在所述第二焊接面上涂覆第二焊料層；

在所述第一焊接面上涂覆第一焊料層，在所述背板的第二焊接面上涂覆第二焊料層的步驟包括：將所述靶坯和背板置于加熱板上；在所述第一焊接面和第二焊接面上放置焊料；加熱所述靶坯和背板直至所述靶坯和背板的溫度達到預設溫度，熔化位于所述第一焊接面上和第二焊接面上放置的焊料，在所述第一焊接面上形成第一焊料層，在所述背板的第二焊接面上形成第二焊料層；

在所述第一焊接面上和第二焊接面上涂覆焊料層的步驟還包括：在熔化焊料時，在第一焊接面或第二焊接面上熔化的焊料中放置金屬絲桿，以形成所述焊料層；

所述靶坯的第一焊接面的形狀為長方形，放置所述金屬絲桿的步驟包括：在所述第一焊接面或第二焊接面上放置多根直徑相同的金屬絲桿，所述多根金屬絲桿沿所述靶坯延伸方向均勻排列放置于所述第一焊接面或第二焊接面內且互不相交。

2.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，所述靶坯的材料為鋁。

3.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，所述靶坯的材料為純鋁，純鋁中鋁的含量大于99.9999％。

4.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，所述第一焊料層和所述第二焊料層的材料均為銦。

5.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，對所述靶坯的第一焊接面進行表面處理的步驟包括：采用鋼絲刷對所述第一焊接面進行表面處理，去除所述第一焊接面表面的氧化膜。

6.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，所述金屬絲桿的直徑為0.1mm至0.3mm。

7.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，所述金屬絲桿的材料為銅或鉬。

8.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，所述金屬絲桿的根數為8至12根。

9.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，所述金屬絲桿放置于所述靶坯的第一焊接面上；

所述靶坯的第一焊接面的形狀為長方形，所述第一焊接面包括垂直于所述靶坯延伸方向的第一棱和第二棱，所述多根金屬絲桿包括：靠近所述第一棱的第一金屬絲桿，靠近所述第二棱的第二金屬絲桿；

所述第一金屬絲桿平行于所述第一棱，所述第一金屬絲桿至所述第一棱的垂直距離為10cm至15cm；

所述第二金屬絲桿平行于所述第二棱，所述第二金屬絲桿至所述第二棱的垂直距離為10cm至15cm。

10.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，在所述第一焊接面上和第二焊接面上涂覆焊料層的步驟還包括：待所述焊料熔化后，對所述焊料進行超聲波處理。

11.如權利要求4所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，在所述第一焊接面上和第二焊接面上涂覆焊料層后，將涂覆有所述焊料層的第一焊接面和第二焊接面相對設置并貼合之前，所述制造方法還包括：采用鋼絲刷刮除所述第一焊接面或第二焊接面上焊料層表面的氧化皮。

12.如權利要求1所述的靶材組件的制造方法，其特征在于，冷卻所述靶材組件的步驟中，采用壓塊對所述靶坯施加壓力，所述壓塊的質量為150Kg至250Kg。