[發(fā)明專(zhuān)利]光成形物的生產(chǎn)方法及液體排出頭的生產(chǎn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510623132.4
• 申請(qǐng)日: 2015-09-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105467757B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 堀內(nèi)勇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/004
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/004;G03F7/16
• 代理公司: 11398 北京魏?jiǎn)W(xué)律師事務(wù)所
• 代理人: 魏?jiǎn)W(xué)<國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>=<進(jìn)入

本發(fā)明涉及光成形物的生產(chǎn)方法及液體排出頭的生產(chǎn)方法。一種光成形物的生產(chǎn)方法，其包括將感光性樹(shù)脂組合物以干膜形式粘帖至形成有基板表面開(kāi)口的孔的基板上以封閉所述孔，并進(jìn)行圖案化，從而形成光成形物，其中所述感光性樹(shù)脂組合物含有包括三官能以上的環(huán)氧樹(shù)脂和二官能環(huán)氧樹(shù)脂的樹(shù)脂，所述二官能環(huán)氧樹(shù)脂具有5,500至60,000的重均分子量(Mw)，所述樹(shù)脂具有4,500至11,000的范圍內(nèi)的重均分子量(Mw)，所述三官能以上的環(huán)氧樹(shù)脂和所述二官能環(huán)氧樹(shù)脂之間的質(zhì)量混合比滿(mǎn)足(b)/(a)≤1.5，其中(a)為三官能以上的環(huán)氧樹(shù)脂的質(zhì)量，(b)為二官能環(huán)氧樹(shù)脂的質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光成形物(optically shaped product)的生產(chǎn)方法，和使用該生產(chǎn)方法的液體排出頭的生產(chǎn)方法。

背景技術(shù)

作為光成形物的實(shí)例，可提及將液體排出的液體排出頭。液體排出頭例如作為噴墨記錄頭用于排出噴墨記錄設(shè)備中的墨。應(yīng)用于噴墨記錄的液體排出頭一般包括多個(gè)微細(xì)排出口、分別與排出口聯(lián)通的流路、和各自設(shè)置在流路的一部分用于產(chǎn)生排出流路內(nèi)的液體用能量的排出能量產(chǎn)生單元。作為此類(lèi)液體排出頭的生產(chǎn)方法，已知在預(yù)先設(shè)置有排出能量產(chǎn)生單元的基板上層壓形成流路的低感光度感光性樹(shù)脂層和通過(guò)圖案化將成為排出口的高感光度感光性樹(shù)脂層的方法。使低感光度感光性樹(shù)脂層和高感光度感光性樹(shù)脂層分別固化，接著除去其未固化部，從而在基板上形成流路和排出口。

在日本專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)亻_(kāi)2009-1003號(hào)中公開(kāi)的噴墨記錄頭的生產(chǎn)方法中，首先通過(guò)旋涂法在基板上形成液態(tài)的低感光度感光性樹(shù)脂的膜，并將膜曝光成流路的形式。在接著將高感光度感光性樹(shù)脂的干膜層壓在所得低感光度感光性樹(shù)脂層并曝光成為排出口的形式后，將低感光度感光性樹(shù)脂層和高感光度感光性樹(shù)脂層的未固化部一起除去，從而形成流路和排出口。其后，從沒(méi)有層壓感光性樹(shù)脂層的表面蝕刻基板，從而形成用于將液體穿過(guò)基板供給至流路的供給路徑。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明，提供一種光成形物的生產(chǎn)方法，所述方法包括將干膜形式的感光性樹(shù)脂組合物粘帖至形成有表面開(kāi)口的孔的基板以封閉所述孔，并進(jìn)行圖案化，從而形成光成形物，其中所述感光性樹(shù)脂組合物含有包括三官能以上的環(huán)氧樹(shù)脂和二官能環(huán)氧樹(shù)脂的樹(shù)脂，所述二官能環(huán)氧樹(shù)脂具有5,500至60,000的重均分子量(Mw)，所述樹(shù)脂具有4,500至11,000的范圍內(nèi)的重均分子量(Mw)，所述三官能以上的環(huán)氧樹(shù)脂和所述二官能環(huán)氧樹(shù)脂之間的質(zhì)量混合比滿(mǎn)足(b)/(a)≤1.5，其中(a)為三官能以上的環(huán)氧樹(shù)脂的質(zhì)量，(b)為二官能環(huán)氧樹(shù)脂的質(zhì)量。

根據(jù)本發(fā)明，還提供一種液體排出頭的生產(chǎn)方法，所述方法包括將干膜形式的感光性樹(shù)脂組合物粘帖至形成有排出能量產(chǎn)生單元和液體的供給路徑的基板上，其中所述感光性樹(shù)脂組合物含有包括三官能以上的環(huán)氧樹(shù)脂和二官能環(huán)氧樹(shù)脂的樹(shù)脂，所述二官能環(huán)氧樹(shù)脂具有5,500至60,000的重均分子量(Mw)，所述樹(shù)脂具有4,500至11,000的范圍內(nèi)的重均分子量(Mw)，所述三官能以上的環(huán)氧樹(shù)脂和所述二官能環(huán)氧樹(shù)脂之間的質(zhì)量混合比滿(mǎn)足(b)/(a)≤1.5，其中(a)為三官能以上的環(huán)氧樹(shù)脂的質(zhì)量，(b)為二官能環(huán)氧樹(shù)脂的質(zhì)量。

參考附圖從以下示例性實(shí)施方案的描述中，本發(fā)明的進(jìn)一步的特征將變得顯而易見(jiàn)。

附圖說(shuō)明

圖1A為說(shuō)明液體排出頭的構(gòu)造實(shí)例的示意性立體圖，圖1B為沿圖1A的1B-1B線(xiàn)截取的示意性截面圖。

圖2A、2B、2C、2D和2E為按順序地說(shuō)明圖1A和1B中說(shuō)明的液體排出頭的生產(chǎn)步驟的實(shí)例的示意性截面圖。

圖3A、3B和3C為說(shuō)明排出口形狀的所有設(shè)計(jì)圖。

圖4A、4B、4C、4D和4E為按順序地說(shuō)明液體排出頭的生產(chǎn)步驟的另一實(shí)例的示意性截面圖。

圖5A、5B、5C、5D和5E為按順序地說(shuō)明實(shí)施例中液體排出頭的生產(chǎn)步驟的示意性截面圖。