[發明專利]光成形物的生產方法及液體排出頭的生產方法

有效

• 申請號: 201510623132.4
• 申請日: 2015-09-25
• 公開（公告）號: CN105467757B
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 堀內勇
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/16
• 代理公司: 11398 北京魏啟學律師事務所
• 代理人: 魏啟學<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種液體排出頭的生產方法，該方法包括，將感光性樹脂組合物以干膜形式粘帖至形成有排出能量產生元件和液體的供給路徑的基板上，其特征在于，所述感光性樹脂組合物含有包括三官能以上的環氧樹脂和二官能環氧樹脂的樹脂以及光酸產生劑，所述二官能環氧樹脂具有5,500至60,000的重均分子量Mw，所述樹脂具有4,500至11,000的范圍內的重均分子量Mw，所述三官能以上的環氧樹脂和所述二官能環氧樹脂之間的質量混合比滿足b/a≤1.5，其中a為所述三官能以上的環氧樹脂的質量，b為所述二官能環氧樹脂的質量，和將所述感光性樹脂組合物粘帖至所述基板上使得不填充在液體供給路徑中且覆蓋所述液體供給路徑的上表面。

2.根據權利要求1所述的生產方法，其中所述二官能環氧樹脂為具有雙酚骨架的環氧樹脂。

3.根據權利要求1所述的生產方法，其中所述二官能環氧樹脂具有90℃以上的軟化點。

4.根據權利要求1所述的生產方法，其中所述感光性樹脂組合物作為感光性樹脂組合物1，并且在所述感光性樹脂組合物1上以干膜形式層壓感光性樹脂組合物2。

5.根據權利要求4所述的生產方法，其中通過將所述感光性樹脂組合物1圖案化來形成液體流路。

6.根據權利要求4所述的生產方法，其中所述感光性樹脂組合物2至少含有三官能以上的環氧樹脂和光酸產生劑。

7.根據權利要求4所述的生產方法，其中通過將所述感光性樹脂組合物2圖案化來形成所述液體的排出口。

8.根據權利要求4所述的生產方法，其進一步包括一起除去所述感光性樹脂組合物1的未固化部和所述感光性樹脂組合物2的未固化部的步驟。

9.根據權利要求4所述的生產方法，其中固化所述感光性樹脂組合物2所需要的曝光量小于固化所述感光性樹脂組合物1所需要的曝光量。