[發(fā)明專(zhuān)利]用于使產(chǎn)品基底從承載基底脫離的系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510619239.1
• 申請(qǐng)日: 2011-04-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105097620B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J.布格拉夫;D.布格施塔勒
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: EV集團(tuán)E·索爾納有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 宣力偉

1.一種用于使產(chǎn)品基底從承載基底脫離的系統(tǒng)，其中所述產(chǎn)品基底通過(guò)連接層暫時(shí)地連接到所述承載基底以形成堆疊部，所述系統(tǒng)包括：

支撐所述堆疊部的器件；

包括局部的加熱和壓縮空氣射流的分離器件，其初始化所述產(chǎn)品基底從所述承載基底脫離，所述分離器件具有從該連接層的周向邊緣穿透到所述堆疊部的所述連接層中的頂端；

第一構(gòu)件，其具有在平行于所述承載基底的表面的平面的平面中延伸的表面；以及

從所述第一構(gòu)件延伸的延伸部，其中該延伸部包括被配置成接觸該承載基底的周向邊緣的表面，

其中所述系統(tǒng)施加力到所述承載基底以將所述承載基底遠(yuǎn)離所述產(chǎn)品基底彎曲，從而使所述產(chǎn)品基底從所述承載基底脫離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述第一構(gòu)件為柔性的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述延伸部的表面的一端終止于內(nèi)邊緣處，所述內(nèi)邊緣形成所述分離器件的頂端。

4.一種用于使產(chǎn)品基底從承載基底脫離的系統(tǒng)，其中所述產(chǎn)品基底通過(guò)連接層暫時(shí)地連接到所述承載基底以形成堆疊部，所述系統(tǒng)包括：

支撐所述堆疊部的第一支架；以及

接合所述承載基底的第二支架，所述第二支架包括：

肩部，其具有在平行于所述承載基底的表面的平面的平面中延伸的肩部表面；

從所述肩部延伸的延伸部，其中該延伸部包括被配置成接觸該承載基底的周向邊緣的表面；以及

包括局部的加熱和壓縮空氣射流的分離器件，其初始化所述產(chǎn)品基底從所述承載基底脫離，所述分離器件具有從該連接層的周向邊緣穿透到所述堆疊部的所述連接層中的頂端，

其中所述第二支架施加力到所述承載基底以將所述承載基底遠(yuǎn)離所述產(chǎn)品基底彎曲，從而使所述產(chǎn)品基底從所述承載基底脫離。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述第二支架為柔性的。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述延伸部的表面的一端終止于內(nèi)邊緣處，所述內(nèi)邊緣形成所述分離器件的頂端。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述系統(tǒng)還包括：

驅(qū)動(dòng)器件，其用于移動(dòng)所述第二支架以施加力到所述承載基底來(lái)將所述承載基底遠(yuǎn)離所述產(chǎn)品基底彎曲。

8.一種用于使承載基底從產(chǎn)品基底脫離的系統(tǒng)，其中所述承載基底通過(guò)連接層暫時(shí)地連接到所述產(chǎn)品基底以形成堆疊部，所述系統(tǒng)包括：

可與暫時(shí)地連接到所述產(chǎn)品基底的所述承載基底相接合的支架，所述支架包括：

肩部，其具有在平行于所述承載基底的表面的平面的平面中延伸的肩部表面；

從所述肩部延伸的延伸部，其中該延伸部包括被配置成接觸該承載基底的周向邊緣的表面；以及

包括局部的加熱和壓縮空氣射流的分離器件，其初始化所述承載基底從所述產(chǎn)品基底的脫離，所述分離器件具有從該連接層的周向邊緣穿透到所述堆疊部的所述連接層中的頂端，

其中所述支架施加力到所述承載基底以將所述承載基底遠(yuǎn)離所述產(chǎn)品基底彎曲，從而使所述承載基底從所述產(chǎn)品基底脫離。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述支架為柔性的。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述延伸部的斜表面的一端終止于內(nèi)邊緣處，所述內(nèi)邊緣形成所述分離器件的頂端。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中所述系統(tǒng)還包括：

驅(qū)動(dòng)器件，其用于移動(dòng)所述支架以施加力到所述承載基底來(lái)將所述承載基底遠(yuǎn)離所述產(chǎn)品基底彎曲。