[發明專利]直接曝光裝置

有效

• 申請號: 201510617271.6
• 申請日: 2015-09-24
• 公開（公告）號: CN105467773B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 橋本典夫;森田亮
• 申請（專利權）人: 株式會社ORC制作所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種直接曝光裝置，其使用了光調制元件陣列，將圖案曝光于從供給卷軸送出并被卷繞到卷繞卷軸上的長條狀工件，所述直接曝光裝置的特征在于，具有：

圓筒部件，其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間，在其周面的一定范圍內保持長條狀工件的同時進行旋轉；

切線方向引導構件，其在長條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置處，沿與上述圓筒部件的軸垂直截面中的徑向垂直的切線方向引導長條狀工件；以及

第1曝光構件，其至少在包含上述脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內，對從上述圓筒部件脫離并沿上述切線方向延伸的長條狀工件描繪圖案，

拍攝形成于上述長條狀工件的對準標記的對準相機配置在隔著上述圓筒部件而與上述曝光構件相對的位置處。

2.根據權利要求1所述的直接曝光裝置，其中，

在上述前后一定范圍內，從脫離位置到輸送方向下游側的范圍比從脫離位置到輸送方向上游側的范圍寬。

3.根據權利要求1所述的直接曝光裝置，其中，

上述第1曝光構件的光軸和對準相機的光軸朝向鉛垂方向。

4.根據權利要求1所述的直接曝光裝置，其中，

上述圓筒部件至少在上述第1曝光構件的曝光位置和上述對準相機的拍攝位置處，將上述長條狀工件保持在其周面上。

5.一種直接曝光裝置，其使用了光調制元件陣列，將圖案曝光于從供給卷軸送出并被卷繞到卷繞卷軸上的長條狀工件，所述直接曝光裝置的特征在于，具有：

圓筒部件，其在上述供給卷軸與卷繞卷軸之間，在其周面的一定范圍內保持長條狀工件的同時進行旋轉；

切線方向引導構件，其在長條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置處，沿與上述圓筒部件的軸垂直截面中的徑向垂直的切線方向引導長條狀工件；

第1曝光構件，其至少在包含上述脫離位置的輸送方向的前后一定范圍內，對從上述圓筒部件脫離并沿上述切線方向延伸的長條狀工件描繪圖案；

平面引導構件，其在長條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置的下游側，在長條狀工件不與引導面接觸的狀態下將該長條狀工件支撐為平面狀；以及

第2曝光構件，其在上述平面引導構件上，對上述長條狀工件進行曝光。

6.根據權利要求5所述的直接曝光裝置，其中，

上述第2曝光構件的曝光區跨越上述長條狀工件從上述圓筒部件脫離的脫離位置和平面引導構件上的位置。

7.根據權利要求5所述的直接曝光裝置，其中，

上述第1曝光構件的曝光區和第2曝光構件的曝光區存在于大致同一平面上。

8.根據權利要求5所述的直接曝光裝置，其中，

上述平面引導構件是具有氣體吹出構件和氣體抽吸構件的懸浮抽吸引導構件。