[發明專利]壓電組合物、壓電元件和濺射靶材

有效

• 申請號: 201510617259.5
• 申請日: 2015-09-24
• 公開（公告）號: CN105461303B
• 公開（公告）日: 2018-10-02
• 發明（設計）人: 七尾勝
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: C04B35/495
• 分類號: C04B35/495;C23C14/08
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

本發明的目的在于提供在?40℃～85℃的溫度區域中壓電特性的溫度變化率小的壓電組合物以及具備它們的壓電元件、或者濺射靶材。所述壓電組合物以(K_1?x?yNa_xLi_y)_q(Nb_1?zTa_z)O₃…(1)(0.20≤x≤0.80，0.02≤y≤0.10，0.01≤z≤0.30，0.800≤q≤1.050)、SrZrO₃…(2)、Ba(Nb_1?wTa_w)₂O₆…(3)(0.01≤w≤0.30)、(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃和/或(Bi_0.5K_0.5)TiO₃…(4)、(1?m?n?p)A+mB+nC+pD…(5)(A表示(1)所示的復合氧化物，B表示(2)所示的復合氧化物，C表示(3)所示的復合氧化物，D表示(4)所示的復合氧化物，0.04≤m≤0.07，0<n≤0.010，0.001≤p≤0.020)為主成分。

技術領域

本發明涉及壓電組合物和具備壓電組合物的壓電元件、或者濺射 靶材。

背景技術

利用了壓電組合物的驅動器是利用了施加電場時會產生機械應變 和應力這樣的壓電現象而成的。該驅動器能夠高精度地得到微小位移， 并且具有產生應力大等的特征，例如可以用于精密機床或光學裝置的 定位。作為驅動器中使用的壓電組合物，可以列舉鋯鈦酸鉛 (Pb(Zr,Ti)O₃)。

然而，由于鋯鈦酸鉛類壓電組合物包含很多Pb，因此，最近存在 由酸雨導致的Pb溶出等對地球環境造成不良影響的問題。因此，期望 替代鋯鈦酸鉛類壓電組合物而開發不含有Pb的非鉛類壓電組合物。

例如，在專利文獻1和2中，公開了居里溫度高達350℃以上且機 電耦合系數k_r也優異的由鈮酸鈉鉀鋰構成的非鉛類壓電組合物。

另外，在專利文獻3和4中，作為表現比較大的位移量的非鉛類 壓電組合物，公開了鈮酸鈉鉀鋰類的壓電組合物、以及含有鎢青銅型 氧化物和鈣鈦礦型氧化物的壓電組合物。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開昭49-125900號公報

專利文獻2：日本特公昭57-6713號公報

專利文獻3：國際公開第2008/152851號

專利文獻4：日本專利第4513948號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

在民生、工業用電子設備所使用的驅動器或傳感器等的用途中， 要求特別是-40℃～85℃的溫度區域中壓電特性的溫度變化率小。

然而，在專利文獻1～4的任一者中，盡管在非鉛類壓電組合物中 得到優異的壓電特性，但是對于壓電特性相對于溫度的變化，都沒有 進行研究。

本發明是鑒于上述的狀況而完成的，其目的在于提供具有優異的 壓電特性的環境友好型的壓電組合物，并且在-40℃～85℃的溫度區域 中壓電特性的溫度變化率小的壓電組合物以及具有它們的壓電元件或 者濺射靶材。

解決技術問題的手段

本發明人為了解決上述技術問題，進行具有優異的壓電特性的環 境友好型的壓電組合物，在-40℃～85℃的溫度區域中壓電特性的溫度 變化率小的壓電組合物的驗證，發現了與現有的組成范圍不同的壓電 組合物。