[發明專利]壓電組合物、壓電元件和濺射靶材

有效

• 申請號: 201510617259.5
• 申請日: 2015-09-24
• 公開（公告）號: CN105461303B
• 公開（公告）日: 2018-10-02
• 發明（設計）人: 七尾勝
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: C04B35/495
• 分類號: C04B35/495;C23C14/08
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種壓電組合物，其特征在于，

以式(5)所示的組合物為主成分，

所述式(5)所示的組合物包含下述式(1)所示的第1鈣鈦礦型氧化物、下述式(2)所示的第2鈣鈦礦型氧化物、下述式(3)所示的鎢青銅型氧化物、以及下述式(4)所示的第3鈣鈦礦型氧化物，

(K_1-x-yNa_xLi_y)_q(Nb_1-zTa_z)O₃…(1)

其中，式中x為0.20≤x≤0.80，y為0.02≤y≤0.10，z為0.01≤z≤0.30，q為0.800≤q≤1.050，

SrZrO₃…(2)

Ba(Nb_1-wTa_w)₂O₆…(3)

其中，式中w為0.01≤w≤0.30，

(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃和/或(Bi_0.5K_0.5)TiO₃…(4)

(1-m-n-p)A+mB+nC+pD…(5)

式中，A表示上述式(1)所示的復合氧化物，B表示上述式(2)所示的復合氧化物，C表示上述式(3)所示的復合氧化物，D表示上述式(4)所示的復合氧化物，式中m為0.04≤m≤0.07，n為0<n≤0.010，p為0.001≤p≤0.020。

2.根據權利要求1所述的壓電組合物，其特征在于，

進一步包含錳(Mn)和銅(Cu)中的至少一種作為副成分，并且在將所述副成分分別換算成氧化錳(MnO)、氧化銅(CuO)時為下述式(6)所示的壓電組合物，

(1-s)E+sF…(6)

其中，式中E表示上述式(5)所示的主成分的復合氧化物，F表示所述副成分，式中s為0＜s≤0.015。

3.一種壓電元件，其特征在于，

在壓電基板的表面形成有外部電極的壓電元件中，該壓電基板由權利要求1或2所述的壓電組合物形成。

4.一種濺射靶材，其特征在于，

由權利要求1或2所述的壓電組合物形成。