[發明專利]對位裝置、對位檢測方法及對位系統有效
| 申請號: | 201510615629.1 | 申請日: | 2015-09-23 |
| 公開(公告)號: | CN105215760B | 公開(公告)日: | 2018-06-26 |
| 發明(設計)人: | 張霽;邊征;辛帥 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | B23Q3/18 | 分類號: | B23Q3/18;B23Q17/22;G01B7/16 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人: | 許靜;張博 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電容元件 對位裝置 對位桿 對位檢測 對位系統 報警 報警單元 電容變化 內部設置 誤報警 閾值時 電容 形變 工作臺 對位 預設 | ||
本發明提供了一種對位裝置、對位檢測方法及對位系統,屬于顯示技術領域。其中,對位裝置包括:工作臺;設置在工作臺上的多個對位桿,所述對位桿內部設置有電容元件,所述電容元件的電容能夠在所述對位桿形變時發生變化;與所述電容元件連接的報警單元,用于在接收到的電容變化值超過預設閾值時進行報警。本發明的技術方案能夠對對位錯誤進行報警,并降低誤報警的幾率。
技術領域
本發明涉及顯示技術領域,特別是指一種對位裝置、對位檢測方法及對位系統。
背景技術
在液晶顯示裝置(LCD)、有機發光二極管顯示裝置(OLED)等的制造過程中,包括大量對玻璃基板(如陣列基板、彩膜基板等)進行加工(如光刻、貼膜、切割等)的步驟,為保證加工的精確性,故在每道加工工序開始前都要先對基板進行對位。
如圖1所示,現有的基板對位裝置包括設置在工作臺1上、用于對基板進行對位的多個對位桿2(Stopper),在對基板進行對位時,機械手將基板放置在工作臺1上,多個對位桿2分別位于基板的四個側面外。
但是現有技術中至少存在如下問題:現有的對位桿2多采用硬質PEK(聚醚酮)材料制成,是剛性的,如果機械手放置位置錯誤,對位桿在與基板接觸的瞬間會對基板產生較大的沖擊力,易損壞基板,尤其對于厚度較薄(如小于等于0.5mm)的基板更是如此,故現有的基板對位裝置一般不能用于厚度較薄的基板;同時,目前針對對位錯誤進行預警主要使用的是工作臺上的真空系統,當基板放到工作臺上時,根據工作臺吸附基板的真空數值是否達到標準進行預警。但在實際應用中,會出現吸真空與機械手配合時間難以掌控、真空值過大導致對位失效等問題,使得誤報警的情況過多,影響了實際生產。
發明內容
本發明要解決的技術問題是提供一種對位裝置、對位檢測方法及對位系統,能夠對對位錯誤進行報警,并降低誤報警的幾率。
為解決上述技術問題,本發明的實施例提供技術方案如下:
一方面,提供一種對位裝置,包括:
工作臺;
設置在工作臺上的多個對位桿,所述對位桿內部設置有電容元件,所述電容元件的電容能夠在所述對位桿形變時發生變化;
與所述電容元件連接的報警單元,用于在接收到的電容變化值超過預設閾值時進行報警。
進一步地,所述對位裝置還包括:
增益元件,與所述電容元件連接,用于對所述電容元件的電容變化值進行放大或者縮小,并將放大或者縮小的電容變化值發送給所述報警單元;
所述報警單元具體用于在接收到的所述增益元件發送的電容變化值超過預設閾值時進行報警。
進一步地,所述增益元件包括與所述電容元件連接的滑動變阻器、第一電阻、晶體管、第二電阻和第三電阻,其中,滑動變阻器的一端與所述電容元件連接,另一端與低電平連接;所述第一電阻的一端與高電平連接,另一端與所述電容元件連接;所述第二電阻的一端與高電平連接,另一端與所述晶體管的集電極連接;所述第三電阻的一端與所述晶體管的集電極連接,另一端與低電平連接;所述晶體管的基極與所述電容元件連接,集電極分別與所述第二電阻和第三電阻連接,發射極與低電平連接。
進一步地,所述對位裝置還包括:
與所述電容元件連接的變壓電路以及交流轉直流電路,所述變壓電路用于對施加到所述電容元件上的電信號進行變壓,所述交流轉直流電路用于對施加到所述電容元件上的電信號進行交流轉直流變換。
進一步地,所述對位桿包括有外殼和設置在所述外殼內的所述電容元件,所述外殼為采用軟質橡膠制成。
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