[發明專利]對位裝置、對位檢測方法及對位系統

有效

• 申請號: 201510615629.1
• 申請日: 2015-09-23
• 公開（公告）號: CN105215760B
• 公開（公告）日: 2018-06-26
• 發明（設計）人: 張霽;邊征;辛帥
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: B23Q3/18
• 分類號: B23Q3/18;B23Q17/22;G01B7/16
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;張博

1.一種對位裝置，其特征在于，包括：

工作臺；

設置在工作臺上的多個對位桿，所述對位桿內部設置有電容元件，所述電容元件的電容能夠在所述對位桿形變時發生變化；

與所述電容元件連接的報警單元，用于在接收到的電容變化值超過預設閾值時進行報警；

所述對位裝置還包括：

增益元件，與所述電容元件連接，用于對所述電容元件的電容變化值進行放大或者縮小，并將放大或者縮小的電容變化值發送給所述報警單元；

所述報警單元具體用于在接收到的所述增益元件發送的電容變化值超過預設閾值時進行報警。

2.根據權利要求1所述的對位裝置，其特征在于，所述增益元件包括與所述電容元件連接的滑動變阻器、第一電阻、晶體管、第二電阻和第三電阻，其中，滑動變阻器的一端與所述電容元件連接，另一端與低電平連接；所述第一電阻的一端與高電平連接，另一端與所述電容元件連接；所述第二電阻的一端與高電平連接，另一端與所述晶體管的集電極連接；所述第三電阻的一端與所述晶體管的集電極連接，另一端與低電平連接；所述晶體管的基極與所述電容元件連接，集電極分別與所述第二電阻和第三電阻連接，發射極與低電平連接。

3.根據權利要求2所述的對位裝置，其特征在于，所述對位裝置還包括：

與所述電容元件連接的變壓電路以及交流轉直流電路，所述變壓電路用于對施加到所述電容元件上的電信號進行變壓，所述交流轉直流電路用于對施加到所述電容元件上的電信號進行交流轉直流變換。

4.根據權利要求1所述的對位裝置，其特征在于，所述對位桿包括有外殼和設置在所述外殼內的所述電容元件，所述外殼為采用軟質橡膠制成。

5.根據權利要求4所述的對位裝置，其特征在于，所述外殼包括有相互配合的第一部分和第二部分，所述第一部分為圓柱形結構，所述圓柱形結構的一端面向內凹陷形成一凹槽；所述第二部分包括用于固定在所述工作臺上的基底和設置在所述基底上、與所述凹槽相適配的凸起，在所述第一部分與所述第二部分相互配合組成所述外殼時，所述凸起位于所述凹槽內且所述凸起與所述凹槽之間形成有間隙。

6.根據權利要求5所述的對位裝置，其特征在于，所述電容元件的上極板位于所述凹槽底部，所述電容元件的下極板位于所述凸起頂部。

7.根據權利要求5所述的對位裝置，其特征在于，所述凹槽為圓柱形凹槽，所述凸起為圓柱形凸起，所述基底為圓形基底，且所述圓形基底的直徑與所述圓柱形結構的直徑相等。

8.根據權利要求4所述的對位裝置，其特征在于，所述外殼的高度為1-2cm。

9.根據權利要求5所述的對位裝置，其特征在于，所述圓柱形結構的直徑為1-2cm。

10.根據權利要求9所述的對位裝置，其特征在于，所述圓柱形結構的直徑為1.2cm。

11.一種對位系統，包括待對位的基板，其特征在于，還包括如權利要求1至10中任一項所述的對位裝置，在對所述基板進行對位時，所述對位桿分別位于所述基板的至少兩個相對的側面處。

12.一種對位檢測方法，其特征在于，應用如權利要求11所述的對位系統，包括：

將待對位的基板放置在工作臺上，所述工作臺上設置有多個對位桿，所述對位桿分別位于所述基板的至少兩個相對的側面處，所述對位桿內部設置有電容元件，所述電容元件的電容能夠在所述對位桿形變時發生變化；

檢測所述電容元件的電容是否發生變化，在所述電容元件的電容變化值超過預設閾值時進行報警。