[發(fā)明專利]一種機械手

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510614207.2
• 申請日: 2015-09-23
• 公開（公告）號: CN105151776B
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李錦坤;郭國明;顧楠軒;侯健;劉書雨;劉敏;郝西魁
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G49/06
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司11274
• 代理人: 申健

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及自動化領(lǐng)域，尤其涉及一種機械手。

背景技術(shù)

目前，在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶體管液晶顯示器)的生產(chǎn)過程中，所使用的真空反應(yīng)設(shè)備如圖1所示，包括一個真空過渡室、一個傳送腔室和至少一個反應(yīng)腔室，其中，傳送腔室分別與真空過渡室和各反應(yīng)腔室相連。其中，在傳送腔室中設(shè)有機械手，利用該機械手可實現(xiàn)板狀產(chǎn)品如基板在真空過渡室和各反應(yīng)腔室之間的周轉(zhuǎn)。

如圖2所示，現(xiàn)有的機械手10包括：第一支撐結(jié)構(gòu)11、第二支撐結(jié)構(gòu)12、第三支撐結(jié)構(gòu)13以及手臂14；其中，第一支撐結(jié)構(gòu)11可在水平面(x軸和y軸所在平面)旋轉(zhuǎn)，第二支撐結(jié)構(gòu)12可沿z軸方向上下移動，第三支撐結(jié)構(gòu)13可沿x軸前后移動、沿y軸方向左右移動。

具體的，在傳送腔室內(nèi)，機械手10通過調(diào)節(jié)第二支撐結(jié)構(gòu)12、第三支撐結(jié)構(gòu)13可調(diào)節(jié)手臂14在x軸、y軸以及z軸方向的具體位置，手臂14可在真空過渡室取出基板，再通過第一支撐結(jié)構(gòu)11沿x軸方向旋轉(zhuǎn)180°，以將基板放置在反應(yīng)腔室。

發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的機械手在取基板、放基板的過程中存在以下問題．一方面，在第一支撐結(jié)構(gòu)11旋轉(zhuǎn)過程中，基板存在從手臂14跌落的風險，產(chǎn)品的良率降低。另一方面，考慮手臂14的長度較大，傳送腔室的寬度要大于兩個手臂的長度，則要求傳送腔室必須具有較大的空間。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的實施例提供一種機械手，利用該機械手進行取物、放物的占用空間小，且無需進行旋轉(zhuǎn)，從而可以提高產(chǎn)品良率。

為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：

本發(fā)明實施例提供了一種機械手，安裝在真空反應(yīng)設(shè)備的第一腔室和第二腔室之間，用于將所述第一腔室的板材移動至所述第二腔室；所述機械手包括：

第一支撐結(jié)構(gòu)，所述第一支撐結(jié)構(gòu)上設(shè)置有沿水平面上第一方向的軌道，所述第一腔室和所述第二腔室位于所述軌道相對的兩端；

手臂，所述手臂安裝在所述第一支撐結(jié)構(gòu)上，用于承載所述板材，所述手臂沿所述軌道可移動；

垂直移動機構(gòu)，所述第一支撐結(jié)構(gòu)和所述手臂安裝在所述垂直移動機構(gòu)上，所述垂直移動機構(gòu)可驅(qū)動所述第一支撐結(jié)構(gòu)和所述手臂在垂直方向上移動。

可選的，還包括：水平移動機構(gòu)，所述第一支撐結(jié)構(gòu)和所述手臂安裝在所述水平移動機構(gòu)上，所述水平移動機構(gòu)可驅(qū)動所述第一支撐結(jié)構(gòu)和所述手臂在所述水平面上的第二方向移動，其中，所述第一方向與所述第二方向垂直。

可選的，所述水平移動機構(gòu)還可驅(qū)動所述第一支撐結(jié)構(gòu)和所述手臂在所述水平面的第一方向移動。

可選的，所述軌道為凹槽，所述手臂上設(shè)置有移動部，所述移動部沿所述凹槽可移動。

可選的，所述凹槽不貫穿所述第一支撐結(jié)構(gòu)。

可選的，所述軌道為滑軌，所述手臂上設(shè)置有滑輪，所述滑輪沿所述滑軌可移動。

可選的，所述凹槽的側(cè)面為折面，所述移動部的側(cè)面與所述凹槽的側(cè)面相嵌。

可選的，所述手臂與所述第一支撐結(jié)構(gòu)的上表面不接觸。

可選的，所述機械手包括兩個手臂，所述兩個手臂分別設(shè)置在兩個第一支撐結(jié)構(gòu)上，且所述兩個支撐結(jié)構(gòu)間隔一定距離。

可選的，所述機械手的承載面上設(shè)置有吸附裝置，所述吸附裝置將所述板材吸附于所述手臂上。

本發(fā)明的實施例提供一種本發(fā)明實施例提供的一種機械手，機械手的手臂可以在x方向上滑動，結(jié)合z軸方向的上下運動即可以完成在第一腔室取出顯示基板，并在第二腔室放置顯示基板的動作。相對于現(xiàn)有的機械手的手臂，在第一腔室取出顯示基板后通過旋轉(zhuǎn)將顯示基板放置在第二基板，不僅降低了顯示基板可能被摔壞的風險，提高了產(chǎn)品的良率；且節(jié)省了傳輸空間，有效的節(jié)省設(shè)計成本，同時能夠提高顯示基板傳輸?shù)募迍勇省?/p>

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有的真空反應(yīng)設(shè)備示意圖；

圖2為現(xiàn)有的機械手示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例提供的一種機械手示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例的機械手的手臂取放板材的示意圖；

圖5為本發(fā)明實施例提供的另一種機械手示意圖；

圖6為本發(fā)明實施例提供的一種軌道示意圖；