[發明專利]一種機械手

有效

• 申請號: 201510614207.2
• 申請日: 2015-09-23
• 公開（公告）號: CN105151776B
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發明（設計）人: 李錦坤;郭國明;顧楠軒;侯健;劉書雨;劉敏;郝西魁
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G49/06
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司11274
• 代理人: 申健

1.一種機械手，安裝在真空反應設備的第一腔室和第二腔室之間，用于將所述第一腔室的板材移動至所述第二腔室；其特征在于，所述機械手包括：

第一支撐結構，所述第一支撐結構上設置有沿水平面上第一方向的軌道，所述第一腔室和所述第二腔室位于所述軌道相對的兩端；

手臂，所述手臂安裝在所述第一支撐結構上，用于承載所述板材，所述手臂沿所述軌道可移動；

垂直移動機構，所述第一支撐結構和所述手臂安裝在所述垂直移動機構上，所述垂直移動機構可驅動所述第一支撐結構和所述手臂在垂直方向上移動；

還包括：水平移動機構，所述第一支撐結構和所述手臂安裝在所述水平移動機構上，所述水平移動機構可驅動所述第一支撐結構和所述手臂在所述水平面上的第二方向移動，其中，所述第一方向與所述第二方向垂直；

機械手手臂通過所述垂直移動機構使所述手臂沿所述垂直方向向下位于所述第一腔室中待取出的板材的下面，所述手臂沿所述軌道移動至所述第一腔室中，通過所述垂直移動機構使所述手臂沿所述垂直方向向上，將所述第一腔室中的板材承載在所述手臂上；沿所述軌道移動使所述手臂上的板材位于所述第二腔室，使所述手臂位于所述第二腔室中板材的支撐結構的上面，通過所述垂直移動機構使所述手臂沿所述垂直方向向下，將所述板材放置在所述第二腔室中的支撐結構上。

2.根據權利要求1所述的機械手，其特征在于，所述水平移動機構還可驅動所述第一支撐結構和所述手臂在所述水平面的第一方向移動。

3.根據權利要求1所述的機械手，其特征在于，所述軌道為凹槽，所述手臂上設置有移動部，所述移動部沿所述凹槽可移動。

4.根據權利要求3所述的機械手，其特征在于，所述凹槽不貫穿所述第一支撐結構。

5.根據權利要求3或4所述的機械手，其特征在于，所述凹槽的側面為折面，所述移動部的側面與所述凹槽的側面相嵌。

6.根據權利要求1所述的機械手，其特征在于，所述軌道為滑軌，所述手臂上設置有滑輪，所述滑輪沿所述滑軌可移動。

7.根據權利要求6所述的機械手，其特征在于，所述手臂與所述第一支撐結構的上表面不接觸。

8.根據權利要求1所述的機械手，其特征在于，所述機械手包括兩個手臂，所述兩個手臂分別設置在兩個第一支撐結構上，且所述兩個支撐結構間隔一定距離。

9.根據權利要求1所述的機械手，其特征在于，所述機械手的承載面上設置有吸附裝置，所述吸附裝置將所述板材吸附于所述手臂上。