[發明專利]微粒捕獲裝置在審
| 申請號: | 201510607660.0 | 申請日: | 2011-11-08 |
| 公開(公告)號: | CN105223043A | 公開(公告)日: | 2016-01-06 |
| 發明(設計)人: | 永野久志;鈴木康孝;鹿島秀夫;橋本雄一郎;杉山益之;菅谷昌和;土井泰德;寺田光一 | 申請(專利權)人: | 株式會社日立制作所 |
| 主分類號: | G01N1/22 | 分類號: | G01N1/22;H01J49/04 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人: | 曾賢偉;郝慶芬 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 微粒 捕獲 裝置 | ||
1.一種微粒捕獲裝置,其特征在于,具備:
吸氣部,其吸取從對象剝離的試樣;
微粒濃縮部,其為圓錐狀,對由所述吸氣部吸取且從所述圓錐狀的大半徑側導入的所述試樣進行濃縮,在設置于所述圓錐狀的小半徑側的微粒捕獲過濾器中捕獲所述試樣;
加熱部,其對所述微粒捕獲過濾器進行加熱;
第一泵,其從所述圓錐狀的所述大半徑部側吸取氣流;
第二泵,其間隔所述微粒捕獲過濾器地被設置在所述圓錐狀的相反側,從所述圓錐狀的所述小半徑部側吸取氣流,并且容量比所述第一泵小;
排出部,其通過來自所述第二泵的吸取,排出來自所述微粒捕獲過濾器捕獲到的所述試樣的氣流;以及
控制部,其至少控制所述第一泵的動作。
2.根據權利要求1所述的微粒捕獲裝置,其特征在于,
所述微粒濃縮部具有:
第一微粒濃縮部,其具有第一旋轉半徑;以及
第二微粒濃縮部,其被串聯地設置在所述第一微粒濃縮部的下游側,具有比所述第一旋轉半徑小的第二旋轉半徑。
3.根據權利要求2所述的微粒捕獲裝置,其特征在于,
并聯地設置了多個所述第二微粒濃縮部。
4.根據權利要求1所述的微粒捕獲裝置,其特征在于,
所述吸氣部呈圓錐狀,從所述圓錐狀的大半徑側吸取所述試樣,并將在所述圓錐狀的小半徑側聚集的所述試樣導入所述微粒濃縮部。
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