[發明專利]加工裝置

有效

• 申請號: 201510607519.0
• 申請日: 2015-09-22
• 公開（公告）號: CN105458912B
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 根本清治
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B41/00
• 分類號: B24B41/00;B25J9/08;B24B7/22
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;金玲

本發明提供加工裝置。在晶片以傾斜狀態收納于料盒內的情況下，機械手能夠識別晶片并將其搬出，而不會使晶片破損。使機械手(51)進入到料盒(4a)內，解除控制部對反轉電動機的控制，使機械手(51)能夠自由旋轉而向接近晶片(W4)的方向移動，在機械手(51)與晶片(W4)接觸而由編碼器識別到的角度發生變化時，判斷為收納于料盒(4a)內的晶片(W4)傾斜。通過檢測機械手(51)的旋轉而能夠檢測晶片(W4)的傾斜，因此能夠防止由于機械手(51)與晶片(W4)沖突而使得晶片(W4)破損。

技術領域

本發明涉及具有從料盒中搬出晶片的機器人的加工裝置。

背景技術

在從以多級方式收納各種晶片的料盒中搬出晶片時，使用了機器人，該機器人具有板狀的機械手、以及在前端連結著機械手且能夠進行彎曲和上下移動的臂。在這種機器人中，在伺服電動機上連結減速機，通過伺服電動機的旋轉角度控制，控制機械手的位置。此外，在伺服電動機的旋轉軸上連結編碼器，由編碼器識別伺服電動機的旋轉角度，從而識別機械手的位置。已公開了通過將絕對型編碼器用作編碼器，從而防止機械手的錯位的技術(例如，參照專利文獻1、2)。

在料盒的兩內側表面上形成有一對彼此相對的支撐槽，各晶片在被支撐槽支撐的狀態下收納。另一方面，在中央部形成有可供機械手在上下方向上移動的空間。在從料盒中搬出晶片時，使機械手進入料盒內，檢測料盒的各級是否存在晶片，同時在中央部使機械手在上方或下方移動。因此，不存在晶片的情況下，使機械手在上下方向上移動。

作為檢測是否存在晶片的手法，可舉出通過設置于機械手上的光傳感器等的傳感器檢測晶片放置于機械手上的情況的手法、以及根據機械手吸附晶片時的壓力值的變化檢測晶片的手法。

專利文獻1日本特開2010-238174號公報

專利文獻2日本特開2012-106300號公報

然而，在晶片以傾斜狀態收納于料盒內時，由于晶片與機械手的傾斜程度不同，因此無論是在基于傳感器的識別還是基于吸附時的壓力值的識別的任意情況下，機械手可能在存在晶片的情況下也無法將其識別出來。

此外，晶片以傾斜狀態收納于料盒內，因而若識別為料盒的規定級內不存在晶片，則機械手將會向下一級移動。因此，存在機械手與傾斜的晶片沖突，使得該晶片破損的問題。

發明內容

本發明就是鑒于這種問題而完成的，其目的在于在機械手在料盒內沿上下方向移動而搬出晶片的情況下，即使晶片以傾斜狀態收納于料盒內，也能夠識別晶片并將其搬出，而不會使晶片破損。

本發明的加工裝置具有：機器人，其從料盒中搬出收納于料盒內的晶片；以及加工單元，其對由機器人搬出的晶片進行加工，機器人具有：保持晶片的機械手；使機械手保持的晶片的正反面反轉的反轉單元；以及使機械手移動至規定的位置處的移動單元，反轉單元具有：反轉軸，其是使機械手保持的晶片的正反面反轉時的旋轉軸；與反轉軸連結的反轉電動機；對反轉電動機進行驅動的控制部；以及與反轉軸連結且檢測反轉軸的旋轉角度的編碼器，該加工裝置通過移動單元使機械手進入到料盒內，解除控制部對反轉電動機的控制，使機械手能夠自由旋轉而向接近晶片的方向移動，并且，該加工裝置具有判斷部，在機械手與晶片接觸而由該編碼器識別到的角度發生變化時，該判斷部判斷為收納于料盒內的晶片傾斜。

發明的效果

在本發明中，進入料盒內的機械手被解除電動機的控制后，按照以反轉軸為中心能夠自由旋轉的狀態向接近晶片的方向移動，因此在晶片以傾斜的狀態收納于料盒內的情況下，機械手也會以隨著晶片的傾斜而傾斜的方式進行旋轉。因此，通過檢測機械手的旋轉，就能夠檢測晶片的傾斜，因而能夠防止機械手與晶片沖突而使得晶片破損。

附圖說明

圖1是表示磨削裝置的立體圖。

圖2是表示機械手和料盒的立體圖。