[發(fā)明專利]隔墊物及其制造裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510583558.1
• 申請日: 2015-09-14
• 公開（公告）號: CN105045034A
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發(fā)明（設計）人: 劉桓;王醉;郭晉波;羅時勲
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F1/54
• 分類號: G03F1/54;G03F7/20;G02F1/1339
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.一種隔墊物制造裝置，其特征在于，包括光罩(10)和與所述光罩(10)正對的曝光裝置(20)，所述光罩(10)包括中心透光區(qū)(10a)和設于所述中心透光區(qū)(10a)外圍的外圍透光區(qū)(10b)，所述曝光裝置(20)發(fā)出的光線透過所述光罩(10)后照射到負向光阻材料上，透過所述外圍透光區(qū)(10b)的光線強度小于透過所述中心透光區(qū)(10a)的光線強度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔墊物制造裝置，其特征在于，所述中心透光區(qū)(10a)的透光率大于所述外圍透光區(qū)(10b)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔墊物制造裝置，其特征在于，所述外圍透光區(qū)(10b)設有交替設置的子透光區(qū)(11)和遮光區(qū)(12)，一個所述遮光區(qū)(12)將所述中心透光區(qū)(10a)和所述子透光區(qū)(11)間隔開。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的隔墊物制造裝置，其特征在于，所述子透光區(qū)(11)和所述遮光區(qū)(12)均為中心對稱結(jié)構(gòu)，且二者的對稱中心與所述中心透光區(qū)(10a)相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的隔墊物制造裝置，其特征在于，所述光罩(10)為多個，且每個所述光罩(10)上的所述子透光區(qū)(11)的數(shù)量不同。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的隔墊物制造裝置，其特征在于，所述光罩(10)為多個，且每個所述光罩(10)上的所述子透光區(qū)(11)的寬度不同。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的隔墊物制造裝置，其特征在于，所述光罩(10)為多個，且每個所述光罩(10)上的所述遮光區(qū)(12)的寬度不同。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔墊物制造裝置，其特征在于，所述外圍透光區(qū)(10b)均勻分布有多個點狀的子透光區(qū)(11)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8所述的隔墊物制造裝置，其特征在于，還包括曝光調(diào)節(jié)裝置(30)，用于調(diào)節(jié)所述曝光裝置(20)的光照參數(shù)。

10.一種隔墊物，其特征在于，使用權(quán)利要求1-9任一所述的隔墊物制造裝置制成。