[發(fā)明專利]一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510567655.1
• 申請日: 2015-09-09
• 公開（公告）號: CN105093854B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 曹常瑜
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙)34115
• 代理人: 張祥騫,奚華保

1.一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置，包括機臺（5），機臺（5）上安裝有支撐平臺（6），支撐平臺（6）上安裝有曝光機頭組（4），其特征在于：還包括自粘塵組件（1）和固定板（7），固定板（7）固定安裝在支撐平臺（6）的側(cè)部且位于曝光機頭組（4）前部面板的下方，自粘塵組件（1）安裝在固定板（7）上；

自粘塵組件（1）包括左縱向運動支架（8）和右縱向運動支架（9），左縱向運動支架（8）與右縱向運動支架（9）兩者結(jié)構(gòu)相同，左滾筒架（18）安裝在左縱向運動支架（8）上，右滾筒架（19）安裝在右縱向運動支架（9）上，左滾筒架（18）和右滾筒架（19）之間安裝有粘塵滾（20）；

右縱向運動支架（9）包括垂直固定安裝在固定板（7）上的縱向滑座板（11），滑塊（12）安裝在縱向滑座板（11）上且與縱向滑座板（11）構(gòu)成滑動配合，滑塊（12）上設(shè)有固定圈（13），軸承（14）的外圈固定安裝在固定圈（13）內(nèi)，右滾筒架（19）固定安裝在軸承（14）的內(nèi)圈上，限位板（15）安裝在縱向滑座板（11）上且位于滑塊（12）的上方，螺釘（16）插在限位板（15）上且與限位板（15）構(gòu)成滑動配合，螺釘（16）的下端固定安裝在滑塊（12）上，螺釘（16）上套有縱向彈簧（17），縱向彈簧（17）位于限位板（15）與滑塊（12）之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置，其特征在于：所述的左滾筒架（18）貫穿左縱向運動支架（8）的左滑塊（31），左縱向運動支架（8）的左縱向滑座板（32）上設(shè)有左橢圓孔（33），左橢圓孔（33）的位置與左滑塊（31）的移動軌跡相對應(yīng)，左滾筒架（18）上位于左滑塊（31）的兩側(cè)均安裝有卡環(huán)（21），卡環(huán)（21）的數(shù)量為2個；右滾筒架（19）貫穿滑塊（12），縱向滑座板（11）上設(shè)有右橢圓孔（23），右橢圓孔（23）的位置與滑塊（12）的移動軌跡相對應(yīng)，右滾筒架（19）上安裝有橫向彈簧（22），橫向彈簧（22）抵在軸承（14）上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置，其特征在于：所述的機臺（5）上安裝有XY軸移動平臺（2），XY軸移動平臺（2）上放置有PCB板（3），粘塵滾（20）壓在PCB板（3）上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置，其特征在于：所述的縱向滑座板（11）上設(shè)有縱向凹槽（24），滑塊（12）上設(shè)有縱向凸起（25），縱向凸起（25）插在縱向凹槽（24）內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置，其特征在于：還包括加固板（10），加固板（10）垂直安裝在左縱向滑座板（32）和縱向滑座板（11）上。