[發(fā)明專利]一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置

有效

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• 申請日: 2015-09-09
• 公開（公告）號: CN105093854B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設計）人: 曹常瑜
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙)34115
• 代理人: 張祥騫,奚華保

技術領域

本發(fā)明涉及激光直寫曝光機技術領域，具體來說是一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置。

背景技術

在半導體光刻機領域中，PCB板除塵是光刻設備曝光前的重要工序，設備曝光工序前，需要將PCB板表面除塵。如果PCB板表面吸附有灰塵、金屬屑、人體皮屑等顆粒物，曝光時會出現曝光不清晰甚至斷點現象，因此PCB板除塵是光刻過程的技術難題。傳統(tǒng)的PCB板除塵是人工用粘塵滾在PCB板上來回滾筒，達到除塵目的，此過程大概需要10~20秒，且此過程不可提前于曝光前太久，否則PCB板曝光前可能再次吸附灰塵，因此會大大影響工作效率，不利于PCB板曝光產能的提高。同時在曝光過程中，PCB板吸附在曝光平臺上在X、Y兩個方向前后左右移動，此過程中也有再次吸附灰塵顆粒的可能，同樣會增加產品不良率。如何開發(fā)出一種能夠在曝光過程中依然可以對PCB板利用粘塵滾進行除塵的裝置已經成為急需解決的技術問題。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是為了解決現有技術中無法在曝光過程中對PCB板進行除塵的缺陷，提供一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置來解決上述問題。

為了實現上述目的，本發(fā)明的技術方案如下：

一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置，包括機臺，機臺上安裝有支撐平臺，支撐平臺上安裝有曝光機頭組，還包括自粘塵組件和固定板，固定板固定安裝在支撐平臺的側部且位于曝光機頭組前部面板的下方，自粘塵組件安裝在固定板上；

自粘塵組件包括左縱向運動支架和右縱向運動支架，左縱向運動支架與右縱向運動支架兩者結構相同，左滾筒架安裝在左縱向運動支架上，右滾筒架安裝在右縱向運動支架上，左滾筒架和右滾筒架之間安裝有粘塵滾；

右縱向運動支架包括垂直固定安裝在固定板上的縱向滑座板，滑塊安裝在縱向滑座板上且與縱向滑座板構成滑動配合，滑塊上設有固定圈，軸承的外圈固定安裝在固定圈內，右滾筒架固定安裝在軸承的內圈上，限位板安裝在縱向滑座板上且位于滑塊的上方，螺釘插在限位板上且與限位板構成滑動配合，螺釘的下端固定安裝在滑塊上，螺釘上套有縱向彈簧，縱向彈簧位于限位板與滑塊之間。

所述的左滾筒架貫穿左縱向運動支架的左滑塊，左縱向運動支架的左縱向滑座板上設有左橢圓孔，左橢圓孔的位置與左滑塊的移動軌跡相對應，左滾筒架上位于左滑塊的兩側均安裝有卡環(huán)，卡環(huán)的數量為2個；右滾筒架貫穿滑塊，縱向滑座板上設有右橢圓孔，右橢圓孔的位置與滑塊的移動軌跡相對應，右滾筒架上安裝有橫向彈簧，橫向彈簧抵在軸承上。

所述的機臺上安裝有XY軸移動平臺，XY軸移動平臺上放置有PCB板，粘塵滾壓在PCB板上方。

所述的縱向滑座板上設有縱向凹槽，滑塊上設有縱向凸起，縱向凸起插在縱向凹槽內。

還包括加固板，加固板垂直安裝在左縱向滑座板和縱向滑座板上。

有益效果

本發(fā)明的一種用于激光直寫曝光機的自動粘塵裝置，與現有技術相比不僅使得除塵工作實現非人工化處理，并且在曝光過程中依然可以對PCB板進行除塵作業(yè)。通過在右滾筒架上安裝橫向彈簧的設計，可以方便地裝卸粘塵滾。通過左縱向運動支架和右縱向運動支架的設計，使得粘塵滾可以貼緊PCB板進行除塵，且不受粘塵滾的粘塵膜失效后，撕去粘塵膜而造成粘塵滾直徑變小，無法貼服PCB板粘塵的影響。其結構簡單、成本低廉，有效的解決了PCB板曝光前的除塵問題，提高了產能、降低了不良率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結構立體圖；

圖2為本發(fā)明中自粘塵組件的結構立體圖；

圖3為本發(fā)明中自粘塵組件的結構正視圖；

圖4為圖3的A點放大圖；

圖5為右縱向運動支架的結構爆炸圖；

圖6為左縱向運動支架的結構爆炸圖；

其中，1-自粘塵組件、2-XY軸移動平臺、3-PCB板、4-曝光機頭組、5-機臺、6-支撐平臺、7-固定板、8-左縱向運動支架、9-右縱向運動支架、10-加固板、11-縱向滑座板、12-滑塊、13-固定圈、14-軸承、15-限位板、16-螺釘、17-縱向彈簧、18-左滾筒架、19-右滾筒架、20-粘塵滾、21-卡環(huán)、22-橫向彈簧、23-右橢圓孔、24-縱向凹槽、25-縱向凸起、31-左滑塊、32-左縱向滑座板、33-左橢圓孔。

具體實施方式