[發明專利]減壓干燥裝置

在審

• 申請號: 201510532506.1
• 申請日: 2015-08-26
• 公開（公告）號: CN105214918A
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發明（設計）人: 韓亞軍;王濤;陳國;丁振勇;李星火;關江兵
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: B05D3/02
• 分類號: B05D3/02
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 鞠永善

技術領域

本發明涉及基板制造技術領域，特別涉及一種減壓干燥裝置。

背景技術

減壓干燥裝置是用于為涂覆有光刻膠、涂料等混合化學品的基板提供減壓干燥處理的設備。具體使用時，把剛涂過負性光刻膠的基板置于減壓干燥裝置中，通過將減壓干燥裝置內抽成真空的方式，使得負性光刻膠與基板黏附牢固；在抽完真空后的下一動作為破真空，即把減壓干燥裝置內的真空狀態破壞，使之變為常壓，然后打開減壓干燥裝置，取出基板，進入下一工序。

在破真空時，由于干燥空氣快速沖向減壓干燥裝置內，干燥空氣會與基板表面摩擦產生靜電，容易發生ESD(Electro-StaticDischarge，靜電釋放)擊穿，導致產品不良。

發明內容

為了解決現有技術的問題，本發明實施例提供了一種減壓干燥裝置。所述技術方案如下：

本發明實施例提供了一種減壓干燥裝置，所述裝置包括：

上蓋體；

下蓋體，與所述上蓋體相配合形成一用于放置待干燥基板的容納空間，所述下蓋體上設有排氣孔和進氣孔；

支撐平臺，設置在所述容納空間中，用于承載所述待干燥基板；

至少一個X射線發生器，安裝在所述上蓋體上，且位于所述容納空間內。

在本發明實施例的一種實現方式中，所述X射線發生器為軟X射線發生器。

在本發明實施例的另一種實現方式中，所述裝置包括6-12個X射線發生器。

在本發明實施例的另一種實現方式中，所述6-12個X射線發生器按矩陣排列在所述上蓋體上。

在本發明實施例的另一種實現方式中，所述裝置還包括用于控制所述至少一個X射線發生器的控制單元，所述控制單元與所述X射線發生器電連接。

在本發明實施例的另一種實現方式中，所述控制單元設于所述容納空間外，所述控制單元與所述X射線發生器通過導線連接，所述上蓋體上設有通孔，所述通孔內設有密封圈，所述導線穿過所述密封圈。

在本發明實施例的另一種實現方式中，所述支撐平臺包括并排間隔設置的多個支撐架。

在本發明實施例的另一種實現方式中，每個所述支撐架包括多個支撐桿和設于支撐桿上的支撐板。

在本發明實施例的另一種實現方式中，所述裝置還包括真空泵，所述排氣孔與所述真空泵相連接。

在本發明實施例的另一種實現方式中，所述下蓋板上設有6個所述排氣孔和6個所述進氣孔。

本發明實施例提供的技術方案帶來的有益效果是：

通過在上蓋體的內部安裝X射線發生器對空氣進行電離，從而產生正負離子，在破真空時，正負離子可以消除由于干燥空氣與基板摩擦產能的靜電，防止ESD的發生。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明實施例提供的一種減壓干燥裝置的結構示意圖；

圖2是本發明實施例提供的另一種減壓干燥裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本發明實施方式作進一步地詳細描述。

圖1是本發明實施例提供的一種減壓干燥裝置的結構示意圖，參見圖1，所述裝置包括：

上蓋體101；

下蓋體102，與上蓋體101相配合形成一用于放置待干燥基板的容納空間，下蓋體102上設有排氣孔和進氣孔(圖未示)；

支撐平臺103，設置在容納空間中，用于承載待干燥基板；

至少一個X射線發生器104，安裝在上蓋體101上，且位于容納空間內。

本發明實施例通過在上蓋體的內部安裝X射線發生器對空氣進行電離，從而產生正負離子，在破真空時，正負離子消除由于干燥空氣與基板摩擦產能的靜電，防止ESD的發生。

圖2是本發明實施例提供的另一種減壓干燥裝置的結構示意圖，參見圖2，裝置包括：

上蓋體201；

下蓋體202，與上蓋體201相配合形成一用于放置待干燥基板的容納空間，下蓋體上設有排氣孔和進氣孔(圖未示)；

支撐平臺203，設置在容納空間中，用于承載待干燥基板；

至少一個X射線發生器204，安裝在上蓋體201上，且位于容納空間內。