[發(fā)明專利]減壓干燥裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510532506.1 | 申請日： | 2015-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN105214918A | 公開（公告）日： | 2016-01-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 韓亞軍;王濤;陳國;丁振勇;李星火;關(guān)江兵 | 申請（專利權(quán)）人： | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | B05D3/02 | 分類號： | B05D3/02 |
| 代理公司： | 北京三高永信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11138 | 代理人： | 鞠永善 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 減壓 干燥 裝置 | ||
1.一種減壓干燥裝置，其特征在于，所述裝置包括：
上蓋體；
下蓋體，與所述上蓋體相配合形成一用于放置待干燥基板的容納空間，所述下蓋體上設(shè)有排氣孔和進氣孔；
支撐平臺，設(shè)置在所述容納空間中，用于承載所述待干燥基板；
至少一個X射線發(fā)生器，安裝在所述上蓋體上，且位于所述容納空間內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述X射線發(fā)生器為軟X射線發(fā)生器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置包括6-12個X射線發(fā)生器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述6-12個X射線發(fā)生器按矩陣排列在所述上蓋體上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括用于控制所述至少一個X射線發(fā)生器的控制單元，所述控制單元與所述X射線發(fā)生器電連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述控制單元設(shè)于所述容納空間外，所述控制單元與所述X射線發(fā)生器通過導線連接，所述上蓋體上設(shè)有通孔，所述通孔內(nèi)設(shè)有密封圈，所述導線穿過所述密封圈。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的裝置，其特征在于，所述支撐平臺包括并排間隔設(shè)置的多個支撐架。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，每個所述支撐架包括多個支撐桿和設(shè)于支撐桿上的支撐板。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括真空泵，所述排氣孔與所述真空泵相連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-6所述的裝置，其特征在于，所述下蓋板上設(shè)有6個所述排氣孔和6個所述進氣孔。
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