[發(fā)明專利]用于流體供應(yīng)容器的終點(diǎn)監(jiān)測(cè)和控制裝置及流體供應(yīng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510518383.6
• 申請(qǐng)日: 2011-06-18
• 公開（公告）號(hào): CN105047591B
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·D·斯威尼;A·M·阿維拉;M·J·沃德延斯基;J·R·德普雷斯;T·H·鮑姆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11287
• 代理人: 齊楊

本申請(qǐng)是于2013年1月18日進(jìn)入中國(guó)國(guó)家階段的國(guó)際申請(qǐng)日為2011年6月18日、國(guó)家申請(qǐng)?zhí)枮?01180036342.3(國(guó)際申請(qǐng)?zhí)枮镻CT/US2011/041013)、名稱為“用于毛細(xì)管輔助的流動(dòng)控制的終點(diǎn)確定”的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

根據(jù)美國(guó)法典第35篇第119節(jié)，在此要求2010年6月18日提交的第61/356,451號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)和2010年7月21日提交的第61/366,523號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)權(quán)益。出于所有目的，第61/356,451號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)和第61/366,523號(hào)美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)的公開內(nèi)容在此分別以參引方式全部納入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開內(nèi)容涉及在例如將半導(dǎo)體制造流體從該流體的源輸送至半導(dǎo)體制造工具的過程中，用于毛細(xì)管輔助的流動(dòng)控制的終點(diǎn)確定。

背景技術(shù)

在流體供應(yīng)容器的使用中，可以在裝置或操作中利用供應(yīng)的流體，在該裝置或操作中，操作的連續(xù)性對(duì)于該裝置或操作的經(jīng)濟(jì)特征是至關(guān)重要的。

作為一個(gè)實(shí)例，可向半導(dǎo)體制造設(shè)施的離子植入工具供應(yīng)摻雜劑流體。在工具操作期間，摻雜劑流體供應(yīng)的任何突然的意外耗竭都會(huì)迫使植入工具停止運(yùn)轉(zhuǎn)，且接著需要在制造過程中丟棄或再制晶圓，以及由于安裝新的流體供應(yīng)容器來(lái)替代流體耗盡的容器而造成操作延遲。

這樣的流體供應(yīng)的突然意外耗竭以及伴隨的操作打亂對(duì)加工系統(tǒng)造成嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。該問題與如下的流體供給容器的使用相關(guān)，該流體供給容器利用對(duì)供應(yīng)的流體進(jìn)行的毛細(xì)管輔助的流動(dòng)控制。

發(fā)明內(nèi)容

本公開內(nèi)容涉及用于毛細(xì)管輔助的流動(dòng)控制的終點(diǎn)確定。

在一個(gè)方面，本公開內(nèi)容涉及一種確定流體供應(yīng)過程的終點(diǎn)的方法，該方法包括：

選擇性地建立來(lái)自一個(gè)流體供應(yīng)容器的流體流動(dòng)；

當(dāng)建立流體流動(dòng)時(shí)，采用一個(gè)靜態(tài)流動(dòng)限制設(shè)備和一個(gè)選擇性可致動(dòng)閥元件，控制流體流動(dòng)通過位于所述流體供應(yīng)容器的內(nèi)部容積中的流動(dòng)通道；以及

監(jiān)測(cè)所述流體供應(yīng)容器的或從該流體供應(yīng)容器分配的流體的至少一個(gè)特性，以確定終點(diǎn)；

其中所述靜態(tài)流動(dòng)限制設(shè)備和所述選擇性可致動(dòng)閥元件沿著所述流動(dòng)通道布置。

在另一方面，本公開內(nèi)容涉及一種用于流體供應(yīng)容器的終點(diǎn)監(jiān)測(cè)和控制裝置，在該裝置中，當(dāng)建立流體流動(dòng)時(shí)，采用一個(gè)靜態(tài)流動(dòng)限制設(shè)備和一個(gè)選擇性可致動(dòng)閥元件，控制通過位于所述流體供應(yīng)容器的內(nèi)部容積中的流動(dòng)通道的流體流動(dòng)。所述終點(diǎn)監(jiān)測(cè)和控制裝置包括一個(gè)監(jiān)測(cè)單元和一個(gè)CPU，該監(jiān)測(cè)單元適于監(jiān)測(cè)所述流體供應(yīng)容器的或從流體供應(yīng)容器供應(yīng)的流體的至少一個(gè)特性，并產(chǎn)生一個(gè)輸出信號(hào)，該CPU以接收輸出信號(hào)的關(guān)系操作性地聯(lián)接至該監(jiān)測(cè)單元。該CPU具有存儲(chǔ)在其中的終點(diǎn)條件信息，并響應(yīng)于從所述監(jiān)測(cè)單元接收到指示終點(diǎn)條件的輸出信號(hào)而產(chǎn)生一個(gè)控制信號(hào)，該控制信號(hào)用于終止來(lái)自所述流體供應(yīng)容器的流體供應(yīng)。

本公開內(nèi)容的又一方面涉及一種流體利用裝置，該流體利用裝置適于執(zhí)行上文概述的本公開內(nèi)容的方法。

本公開內(nèi)容的再一方面涉及一種如上文概述的方法，其中所述方法由一個(gè)流體利用裝置執(zhí)行。

在另一方面，本公開內(nèi)容涉及上述的終點(diǎn)監(jiān)測(cè)和控制裝置，該終點(diǎn)監(jiān)測(cè)和控制裝置與至少一個(gè)流體供應(yīng)容器一起操作性布置。

本發(fā)明的另一方面涉及一個(gè)流體供應(yīng)系統(tǒng)，包括：流體供應(yīng)容器，所述容器具有用于容納流體的內(nèi)部容積；在該內(nèi)部容積中的第一流動(dòng)回路，該第一流動(dòng)回路被布置以在從容器供應(yīng)流體期間控制流體的流動(dòng)，所述第一流動(dòng)回路包括靜態(tài)流動(dòng)限制設(shè)備和選擇性可致動(dòng)閥元件；以及第二流動(dòng)回路，該第二流動(dòng)回路與所述容器聯(lián)接以從所述容器中排出流體，其中所述系統(tǒng)包括下列元件中的至少一個(gè)：

(ⅰ)所述容器的內(nèi)部容積中的緩沖貯存器，該緩沖貯存器與所述第一流動(dòng)回路聯(lián)接，被布置以容納流體，用于對(duì)流體釋放至所述第一流動(dòng)回路進(jìn)行緩沖；

(ⅱ)所述容器外部的緩沖貯存器，該緩沖貯存器與所述第二流動(dòng)回路聯(lián)接，被布置以容納流體，用于對(duì)流體釋放至所述第二流動(dòng)回路進(jìn)行緩沖；

(ⅲ)壓力調(diào)節(jié)器，被布置以調(diào)節(jié)所述第二流動(dòng)回路中的流體壓力；

(ⅳ)壓力傳感器，被布置以監(jiān)測(cè)所述第二流動(dòng)回路中的流體壓力；

(ⅴ)質(zhì)量流控制器，被布置以控制所述第二流動(dòng)回路中的流體的質(zhì)量流；