[發(fā)明專利]玻璃微粒沉積體的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510511563.1
• 申請(qǐng)日: 2015-08-19
• 公開（公告）號(hào): CN105384332B
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楠浩二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友電氣工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03B37/018
• 分類號(hào): C03B37/018
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 張?zhí)K娜;常海濤

使用端部加熱燃燒器在防止玻璃微粒沉積體的表面的粒子狀突起生成的同時(shí)，防止玻璃微粒沉積體的起自端部的裂紋。設(shè)置利用氫氧氣體火焰加熱玻璃微粒沉積體(5)的端部的輔助燃燒器(7a)，使玻璃微粒沉積體(5)相對(duì)于輔助燃燒器(7)和原料燃燒器(4a)～(4g)相對(duì)往復(fù)移動(dòng)，在利用輔助燃燒器(7a)加熱玻璃微粒沉積體(5)的端部時(shí)的加熱范圍中，設(shè)置將輔助燃燒器(7a)的氫氣流量設(shè)為第1流量來(lái)加熱的、與分界位置相比位于端部側(cè)的區(qū)域(11)和將氫氣流量設(shè)為比第1流量小的第2流量加熱的、與分界位置相比位于中心部側(cè)的區(qū)域(10)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及玻璃微粒沉積體的制造方法。

背景技術(shù)

日本特開2008-94680號(hào)公報(bào)和日本特開平11-189428號(hào)公報(bào)記載了這樣一種方法：在外部氣相沉積法(OVD法)或多燃燒器多層沉積法(MMD法)中，為了防止玻璃微粒沉積體的起自端部的裂紋，在用輔助燃燒器(補(bǔ)助バーナ)加熱端部的同時(shí)制造玻璃微粒沉積體。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

本發(fā)明提供這樣一種玻璃微粒沉積體的制造方法，其可以在防止玻璃微粒沉積體表面的粒子狀突起生成的同時(shí)，防止玻璃微粒沉積體起自端部的裂紋。

用于解決問(wèn)題的手段

為了實(shí)現(xiàn)目的，提供一種玻璃微粒沉積體的制造方法，其中，使靶棒(ターゲットロッド)相對(duì)于由生成玻璃微粒的原料燃燒器(原料バーナ)和不生成玻璃微粒的輔助燃燒器構(gòu)成的燃燒器列往復(fù)移動(dòng)，使在原料燃燒器處生成的玻璃微粒沉積在靶棒上從而形成玻璃微粒沉積體，并利用由輔助燃燒器噴出的氫氧氣體火焰加熱玻璃微粒沉積體的端部。在該方法中，輔助燃燒器加熱玻璃微粒沉積體的端部的范圍包括夾著分界位置的端部側(cè)的第1區(qū)域和中心部側(cè)的第2區(qū)域，在第1區(qū)域中，將輔助燃燒器的氫氣流量設(shè)為第1流量來(lái)加熱玻璃微粒沉積體，在第2區(qū)域中，將輔助燃燒器的氫氣流量設(shè)為比第1流量小的第2流量來(lái)加熱玻璃微粒沉積體。

在本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法中，第2流量可以為第1流量的0.4倍以下。另外，分界位置可以是原料燃燒器的火焰接觸玻璃微粒沉積體的往復(fù)移動(dòng)次數(shù)等于輔助燃燒器的火焰接觸玻璃微粒沉積體的往復(fù)移動(dòng)次數(shù)的位置附近。此處的“附近”是指(例如)±5cm左右的范圍。此外，分界位置可以隨著玻璃微粒的沉積而緩慢移動(dòng)到端部側(cè)。此處，“緩慢”是指例如每小時(shí)1～10mm左右的速度。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，可以在防止玻璃微粒沉積體表面的粒子狀突起生成的同時(shí)，防止玻璃微粒沉積體的起自端部的裂紋。

附圖簡(jiǎn)要說(shuō)明

圖1是示出了在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方案的玻璃微粒沉積體的制造方法中使用的制造裝置的一個(gè)例子的示意圖。

圖2是說(shuō)明在玻璃微粒沉積體的表面上生成的粒子狀突起的示意圖。

圖3是說(shuō)明玻璃微粒沉積體的起自端部的裂紋的產(chǎn)生的示意圖。

圖4是說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方案的玻璃微粒沉積體的制造方法中的輔助燃燒器的氫氣流量的控制的示意圖。

圖5是說(shuō)明在玻璃微粒沉積體的制造方法中，原料燃燒器和輔助燃燒器的火焰接觸玻璃微粒沉積體的軸向位置的次數(shù)的示意圖。

圖6是示出通過(guò)傳統(tǒng)制造方法制造的玻璃微粒沉積體中的粒子狀突起和裂紋的發(fā)生率的曲線圖。

具體實(shí)施方式

下面，參照附圖來(lái)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法的實(shí)施方案。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明不限于這些示例，而是由權(quán)利要求的范圍表示，并且旨在包括與權(quán)利要求的范圍相等的意義和范圍內(nèi)的所有變更。