[發明專利]玻璃微粒沉積體的制造方法有效
| 申請號： | 201510511563.1 | 申請日： | 2015-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN105384332B | 公開（公告）日： | 2019-03-12 |
| 發明（設計）人： | 楠浩二 | 申請（專利權）人： | 住友電氣工業株式會社 |
| 主分類號： | C03B37/018 | 分類號： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 張蘇娜;常海濤 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 玻璃 微粒 沉積 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種玻璃微粒沉積體的制造方法，其中，使靶棒相對于由生成玻璃微粒的原料燃燒器和不生成玻璃微粒的輔助燃燒器構成的燃燒器列相對往復移動，
使在所述原料燃燒器處生成的玻璃微粒沉積在所述靶棒上從而成為玻璃微粒沉積體，并且
通過由所述輔助燃燒器噴出的氫氧氣體火焰加熱所述玻璃微粒沉積體的端部，其中，
所述輔助燃燒器加熱所述玻璃微粒沉積體的所述端部的范圍包括夾著分界位置的端部側的第1區域和中心部側的第2區域，在所述第1區域中，將所述輔助燃燒器的氫氣流量設為第1流量來加熱所述玻璃微粒沉積體，在所述第2區域中，將所述輔助燃燒器的氫氣流量設為比所述第1流量小的第2流量來加熱所述玻璃微粒沉積體，
其中所述分界位置為所述原料燃燒器的火焰接觸所述玻璃微粒沉積體的往復移動次數與所述輔助燃燒器的火焰接觸所述玻璃微粒沉積體的往復移動次數相等的位置附近，此處的“附近”是指±5cm的范圍。
2.根據權利要求1所述的玻璃微粒沉積體的制造方法，其中所述第2流量為所述第1流量的0.4倍以下。
3.根據權利要求1或2所述的玻璃微粒沉積體的制造方法，其中使所述分界位置隨著玻璃微粒的沉積而向端部側移動。
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