[發明專利]用于OLED蒸發源的坩堝及其制造方法有效
| 申請號: | 201510510904.3 | 申請日: | 2015-08-19 |
| 公開(公告)號: | CN105088145B | 公開(公告)日: | 2017-03-29 |
| 發明(設計)人: | 裴鳳巍;劉鋒;劉科雷 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司11021 | 代理人: | 王靜 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 oled 蒸發 坩堝 及其 制造 方法 | ||
技術領域
本發明涉及顯示技術領域,尤其涉及一種用于OLED蒸發源的坩堝及其制造方法。
背景技術
隨著人們對更高品質的顯示產品的追求,OLED成為了最具潛力的替代LCD液晶顯示的新興技術,OLED技術正處于快速發展的階段。國內外普遍采用有機材料蒸鍍的方式生產OLED顯示產品,RGB像素的色偏、效率等取決于蒸鍍膜層均勻性等特性,而在蒸鍍過程中,用于蒸發源的坩堝作為蒸鍍中的重要部件,直接決定著蒸鍍膜層的均勻性。
然而,現有技術中用于OLED蒸發源的坩堝為平底結構,加之有機材料本身粘性較大和液化后表面張力作用,導致有機材料在坩堝中的分布不均勻。蒸鍍過程中會出現部分露底,影響有機材料蒸鍍的均勻性。
有鑒于此,確有需要提供一種能夠至少部分地解決上述問題的新的用于OLED蒸發源的坩堝及其制造方法。
發明內容
本發明的目的旨在解決現有技術中存在的上述問題和缺陷的至少一個方面。
根據本發明的一個方面,提供了一種用于OLED蒸發源的坩堝,所述坩堝包括主體和設置在主體上的內板,其中:
在垂直于主體的長度方向的橫截面中,所述主體的底部從下至上逐漸變大。
在一個示例中,在垂直于主體的長度方向的橫截面中所述主體的底部設置成V形、U形或者它們的組合的形狀。
在一個示例中,在所述橫截面中所述主體的底部設置成單個V形、兩個相連的V形或更多個相連的V形。
在一個示例中,在所述橫截面中所述主體的底部設置成單個U形、兩個相連的U形或更多個相連的U形。
在一個示例中,在所述橫截面中所述主體的底部設置成相連的V形和U形的組合形狀。
在一個示例中,所述內板被設置成在所述橫截面中具有與所述主體的底部相匹配的形狀。
在一個示例中,所述內板上設置有成預定排布形式的多個孔,使得在坩堝內的蒸發材料能夠穿過所述孔沉積在放置在所述坩堝上或上方的OLED器件的基板上。
在一個示例中,所述內板上的孔在垂直于主體的高度方向的水平面上的投影中是均勻分布的。
在一個示例中,以主體的長度方向為X坐標軸,以主體的寬度方向為Y坐標軸,以主體的高度方向為Z坐標軸建立的坐標系中,所述內板的孔在XY平面上的投影中是均勻分布的。
在一個示例中,在所述XY平面上的投影中,在Y軸方向上設置以第一間距彼此間隔開的多排孔,在每一排孔中的多個孔沿X軸方向延伸并且相鄰的兩個孔以第二間距彼此間隔開。
在一個示例中,所述第一間距等于第二間距。
在一個示例中,相鄰的兩排孔中的孔彼此對準。
在一個示例中,在相鄰的兩排孔中的孔不彼此對準時,將其中的一排孔中的每個孔與另一排孔中的與之相鄰的兩個孔的連接直線的中心對準。
在一個示例中,中間部,所述中間部上設置有所述孔。
在一個示例中,所述內板還包括位于中間部兩側的側部,所述側部用于蓋設在主體的頂部上。
根據本發明的另一方面,提供了一種制造根據權利要求1所述的用于OLED蒸發源的坩堝的方法,包括以下步驟:
提供一具有主體的坩堝,在垂直于主體的長度方向的橫截面中,所述主體的底部從下至上逐漸變大;
將內板蓋設在坩堝的主體的上端上。
本發明的實施例通過對坩堝結構(具體是坩堝底部的結構)改善或優化,可以提高蒸鍍的均勻性和材料使用率及由于基底用量過少對蒸鍍膜層均勻性的影響,使蒸鍍膜層的性能大大提高。
附圖說明
本發明的這些和/或其他方面和優點從下面結合附圖對優選實施例的描述中將變得明顯和容易理解,其中:
圖1a和1b是現有技術中的用于OLED蒸發源的坩堝的垂直于寬度方向的橫截面的示意圖和垂直于長度方向的橫截面的示意圖;
圖2a和2b是根據本發明的第一實施例的用于OLED蒸發源的坩堝的垂直于長度方向的橫截面的示意圖和坩堝的內板的俯視圖;
圖3a和3b是根據本發明的第二實施例的用于OLED蒸發源的坩堝的垂直于長度方向的橫截面的示意圖和坩堝的內板的俯視圖;
圖4a和4b是根據本發明的第三實施例的用于OLED蒸發源的坩堝的沿垂直于長度方向的橫截面的示意圖和坩堝的內板的俯視圖;
圖5a和5b是根據本發明的第四實施例的用于OLED蒸發源的坩堝的垂直于長度方向的橫截面的示意圖和坩堝的內板的俯視圖;
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