[發明專利]一種芯片顯影定影裝置

在審

• 申請號: 201510487951.0
• 申請日: 2015-08-10
• 公開（公告）號: CN104977817A
• 公開（公告）日: 2015-10-14
• 發明（設計）人: 滕勇;駱軍;彭應龍
• 申請（專利權）人: 樂山無線電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/26
• 分類號: G03F7/26;G03F7/40
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 熊曉果;林輝輪

1.一種芯片顯影定影裝置，包括：

機架（1），所述機架向上伸出一支撐軸（11）；

旋轉單元，設置于所述支撐軸（11）頂端并以所述支撐軸（11）為圓心進行旋轉；

N個升降單元，一端與所述旋轉單元連接，另一端連接一芯片承載欄（8）；

N個容器，設置于所述機架（1）上，所述容器開口向上且內部盛有顯影液或定影液；

控制單元，用于控制所述旋轉單元、升降單元的運動；承放于所述芯片承載欄（8）內的芯片通過所述升降單元下降進入所述容器進行顯影或定影，完成后上升抬離所述容器；

其中，N為1以上自然數。

2.根據權利要求1所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述旋轉單元包括圓盤（3）及設置所述圓盤上的驅動電機，所述驅動電機用于驅動所述圓盤（3）進行轉動。

3.根據權利要求2所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述圓盤（3）上設置有接近開關，用于在芯片顯影定影裝置復位，在圓盤（3）轉到原點時反饋原點信號，使驅動電機停止轉動，圓盤（3）停在原點，所述原點為芯片承載欄（8）初始承掛位置。

4.根據權利要求3所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述接近開關為光電接近開關（5）。

5.根據權利要求1所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述升降單元包括氣缸和一端連接所述氣缸的攪拌電機，所述攪拌電機另一端連接所述芯片承載欄（8），所述氣缸用于帶動所述攪拌電機及芯片承載欄（8）進入或離開所述容器。

6.根據權利要求5所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述氣缸為內置磁環型氣缸（6）。

7.根據權利要求6所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述內置磁環型氣缸（6）上下兩端設置有感應器，用于感應所述氣缸的運動位置，并將感應的位置信息傳輸到所述控制單元。

8.根據權利要求7所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述內置磁環型氣缸（6）連接有一電磁閥，所述電磁閥連接一繼電器，所述繼電器還連接所述攪拌電機；

所述繼電器接收所述控制單元信號控制電磁閥的通斷電以控制所述氣缸的運動，還控制所述攪拌電機的開啟與關閉；

所述芯片承載欄在氣缸帶動下進入所述容器后，氣缸停止運動，所述繼電器開啟攪拌電機。

9.根據權利要求1和8任一項所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述控制單元包括可編程邏輯控制器和觸摸屏。