[發(fā)明專利]一種芯片顯影定影裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510487951.0
• 申請日: 2015-08-10
• 公開（公告）號: CN104977817A
• 公開（公告）日: 2015-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 滕勇;駱軍;彭應(yīng)龍
• 申請（專利權(quán)）人: 樂山無線電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/26
• 分類號: G03F7/26;G03F7/40
• 代理公司: 四川力久律師事務(wù)所 51221
• 代理人: 熊曉果;林輝輪

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種芯片制造設(shè)備，特別涉及一種芯片顯影定影裝置。

背景技術(shù)

目前在芯片生產(chǎn)過程中，芯片顯影、定影全靠手工操作，而在目前市場競爭全球化，開發(fā)周期不斷縮短，半導體元器件需求量急速擴張的情況下，手工操作不僅操作時間長易導致疲勞、操作一致性差，使得芯片生產(chǎn)的速率低下，而且手工操作過程中容易出現(xiàn)芯片漏顯，使得次品率較高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)中芯片顯影、定影采用手工操作時間長易導致疲勞、手動操作多導致操作一致性差，漏顯等問題，提供一種采用機器半自動化的生產(chǎn)替代原有手工操作，使芯片生產(chǎn)速率明顯提高次品率明顯降低的芯片顯影、定影裝置。

為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供了以下技術(shù)方案：

一種芯片顯影定影裝置，包括：

機架，所述機架向上伸出一支撐軸；

旋轉(zhuǎn)單元，設(shè)置于所述支撐軸頂端并以所述支撐軸為圓心進行旋轉(zhuǎn)；

N個升降單元，一端與所述旋轉(zhuǎn)單元連接，另一端連接一芯片承載欄；

N個容器，設(shè)置于所述機架上，所述容器開口向上且內(nèi)部盛有顯影液或定影液；

控制單元，用于控制所述旋轉(zhuǎn)單元、升降單元的運動；承放于所述芯片承載欄內(nèi)的芯片通過所述升降單元下降進入所述容器進行顯影或定影，完成后上升抬離所述容器；

其中，N為1以上自然數(shù)。

優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)單元包括圓盤及設(shè)置所述圓盤上的驅(qū)動電機，用于驅(qū)動所述圓盤進行轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選的，所述圓盤上設(shè)置有接近開關(guān)，用于在芯片顯影定影裝置復(fù)位，在圓盤轉(zhuǎn)到原點時反饋原點信號，使驅(qū)動電機停止轉(zhuǎn)動，圓盤停在原點，所述原點為芯片承載欄初始承掛位置。

優(yōu)選的，所述接近開關(guān)為光電接近開關(guān)。

優(yōu)選的，所述升降單元包括氣缸和一端連接所述氣缸的攪拌電機，所述攪拌電機另一端連接所述芯片承載欄，所述氣缸用于帶動所述攪拌電機及芯片承載欄進入或離開所述容器。

優(yōu)選的，所述氣缸為內(nèi)置磁環(huán)型氣缸。

優(yōu)選的，所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸上下兩端設(shè)置有感應(yīng)器，用于感應(yīng)所述氣缸的運動位置，并將感應(yīng)的位置信息傳輸?shù)剿隹刂茊卧?/p>

優(yōu)選的，所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸連接有一電磁閥，所述電磁閥連接一繼電器，所述繼電器還連接所述攪拌電機；

所述繼電器接收所述控制單元信號控制電磁閥的通斷電以控制所述氣缸的運動，還控制所述攪拌電機的開啟與關(guān)閉；

所述芯片承載欄在氣缸帶動下進入所述容器后，氣缸停止運動，所述繼電器開啟攪拌電機。

優(yōu)選的，所述控制單元包括可編程邏輯控制器和觸摸屏。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果：通過本發(fā)明提供地一種芯片顯影定影裝置，以半自動機械式生產(chǎn)替代原有手工操作，解決了人工操作時間長易導致疲勞、操作一致性差的問題，使得芯片生產(chǎn)的速率明顯提高。同時也解決了手工操作過程中容易出現(xiàn)芯片漏顯的問題，使次品率明顯降低。

附圖說明。

圖1為本發(fā)明一種芯片顯影定影裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明實施例1和2中一種芯片顯影定影裝置俯視示意圖。

圖中標記：1-機架，11-支撐軸，21-第一顯影定影缸，22-第二顯影定影缸，23-第三顯影定影缸，24-第四顯影定影缸，25-第五顯影定影缸，3-圓盤，4-旋轉(zhuǎn)伺服電機，5-光電接近開關(guān)，61-第一內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，62-第二內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，63-第三內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，64-第四內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，65-第五內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，66-第六內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，7-無刷直流電機，8-芯片承載欄，9-磁性光電傳感器。

具體實施方式

下面結(jié)合試驗例及具體實施方式對本發(fā)明作進一步的詳細描述。但不應(yīng)將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下的實施例，凡基于本發(fā)明內(nèi)容所實現(xiàn)的技術(shù)均屬于本發(fā)明的范圍。

實施例1

參看圖1、圖2，

一種芯片顯影定影裝置，包括：

機架1，所述機架1向上伸出一支撐軸11；

設(shè)置于所述支撐軸11頂端并可以其為圓心進行旋轉(zhuǎn)的圓盤3，所述圓盤3上設(shè)置有一驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機為旋轉(zhuǎn)伺服電機4，所述旋轉(zhuǎn)伺服電機4用于驅(qū)動所述圓盤3繞所述支撐軸11進行轉(zhuǎn)動。