[發明專利]一種晶片測試方法

在審

• 申請號: 201510480909.6
• 申請日: 2015-08-08
• 公開（公告）號: CN105118795A
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發明（設計）人: 施勇
• 申請（專利權）人: 海門市明陽實業有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶片測試方法，其特征在于，該晶片測試方法包括如下步驟：

步驟1:根據晶片及探針卡的信息，計算同測時探針臺系統托盤的最短走向，并儲存數據；

步驟2：測試儀把走向方式的信息通過GPIB接口給探針臺系統發送命令，控制探針臺系統托盤的走向；

步驟3：探針臺系統取得測試儀的走向信息后，探針臺系統托盤移動到的相應位置，扎針，然后探針臺系統給測試儀發送可以開始測試的信息；

步驟4：測試儀收到開始測試的命令后，測試程序開始測試，測試完畢后，把測試結果和一個移動位置測試結束的命令發送給探針臺系統，探針臺系統收到信息后，把針移開，等待接收下一個移動位置的坐標信息；

步驟5：探針臺系統和測試儀重復步驟2至步驟4的操作，直到測試儀給探針臺系統發送整枚晶片測試完畢的信息；

步驟6：對完成測試后的數據信息進行篩選和校準。

2.如權利要求1所述的晶片測試方法，其特征在于，步驟2中所述的測試儀把走向方式的信息通過GPIB接口給探針臺系統發送命令具體為：探針臺系統裝載好晶片后，給測試儀發送等待接收坐標信息的命令；測試儀接收到可以發送坐標信息的命令后，根據測試的走向信息取得一個移動位置的坐標參數信息，然后測試儀把坐標信息通過GPIB接口發送給探針臺系統。

3.如權利要求1所述的晶片測試方法，其特征在于，在步驟6中使用篩選偵測機構對所取得的測試數據進行篩選判斷，并與一儲存原始數據進行校準核對。

4.如權利要求3所述的晶片測試方法，其特征在于，當與儲存原始數據進行校準核對后，發現數據顯示異常的，重復測試動作，沒有發現異常的，測試結束。

5.如權利要求3所述的晶片測試方法，其特征在于，該測試方法還提供一用于顯示數據的顯示屏。