[發明專利]磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統

在審

• 申請號: 201510478853.0
• 申請日: 2015-08-07
• 公開（公告）號: CN105063564A
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 井治;張仰平;劉銳;羅松松;張超群;王程
• 申請（專利權）人: 中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 上海碩力知識產權代理事務所 31251
• 代理人: 王法男

技術領域

本發明涉及一種磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統，屬于大面積磁控濺射鍍膜生產設備。

背景技術

對于連續式真空磁控濺射鍍膜玻璃生產線來說，在鍍膜過程中，陰極濺射會產生一定的濺射物和熱量，而這些濺射物長期積累在真空腔室內不僅會影響熱量的傳導，而且還會影響鍍膜腔室內的鍍膜環境，從而對鍍膜質量產生一定的影響，所以在鍍膜時會希望將陰極產生的濺射物及時清理，同時也希望陰極產生的熱量盡快傳導出去。

發明內容

本發明旨在解決鍍膜時陰極產生的濺射物的清理問題和陰極產生熱量的傳導問題。

為了達成上述目的，提供了一種磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統，包括屏蔽板、銅編織帶、冷卻管、底架、及連接板，所述連接板通過螺釘將所述底架連接起來，所述冷卻管通過螺栓固定至所述底架，所述冷卻管固定有所述銅編織帶，所述屏蔽板通過螺釘安裝在所述冷卻管上，所述銅編織帶緊密壓在所述屏蔽板和所述冷卻管之間，由此，所述銅編織帶使所述屏蔽板和所述冷卻管緊密貼合，從而增加傳熱面積。

一些實施例中，所述連接板通過螺釘將所述底架連接在一起，由此保證該裝置兩側處于同一水平面以增加其支撐的穩定性。

一些實施例中，所述冷卻管通過螺栓固定在所述底架的上表面。

一些實施例中，所述銅編織帶固定在所述冷卻管的上表面，由此有效增加傳熱面積。

一些實施例中，所述屏蔽板設為有效吸附陰極濺射物，同時隔絕陰極濺射物吸附在所述冷卻管的表面。

根據本發明的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統，屏蔽板吸附大量的熱量，通過銅編織帶傳導給冷卻管，利于鍍膜時的散熱。同時，屏蔽板也能吸附大量的陰極濺射物，防止濺射物擴散至整個鍍膜室，污染鍍膜環境，保證了鍍膜的質量，同時能有效的阻擋陰極濺射物吸附到冷卻管的表面，影響其散熱效果。

以下結合附圖，通過示例說明本發明主旨的描述，以清楚本發明的其他方面和優點。

附圖說明

結合附圖，通過下文的詳細說明，可更清楚地理解本發明的上述及其他特征和優點，其中：

圖1為根據本發明實施例的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統的結構示意圖。

具體實施方式

參見本發明具體實施例的附圖，下文將更詳細地描述本發明。然而，本發明可以以許多不同形式實現，并且不應解釋為受在此提出之實施例的限制。相反，提出這些實施例是為了達成充分及完整公開，并且使本技術領域的技術人員完全了解本發明的范圍。

現參考附圖詳細說明根據本發明實施例的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統。

如圖所示，根據本發明實施例的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統，包括屏蔽板1、銅編織帶2、，冷卻管3、底架4、連接板5。連接板5通過螺釘將底架4連接起來，冷卻管3通過螺栓固定在底架4上表面，在冷卻管3的上表面固定一層銅編織帶2，屏蔽板1通過螺釘安裝在冷卻管3上，銅編織帶2緊密壓在屏蔽板1和冷卻管3之間。其特征在于：銅編織帶2能有效的使屏蔽板1和冷卻管3緊密貼合，增加傳熱面積，達到更好的冷卻效果；

連接板5通過螺釘將底架4連接在一起，保證該裝置兩側處于同一水平面，并且能增加其支撐的穩定性。冷卻管3通過螺栓固定在底架4上表面。

銅編織帶2固定在冷卻管3的上表面，能有效的增加傳熱面積。屏蔽板1通過螺釘安裝在冷卻管3上，將銅編織帶2緊密壓在屏蔽板1和冷卻管3之間，屏蔽板1能有效的吸附陰極濺射物，同時也能隔絕陰極濺射物吸附在冷卻管3的表面，影響其散熱作用。

連接板5通過螺釘將底架4連接起來，增加整個結構的穩定性，冷卻管3通過螺栓固定在底架4上表面，保證其在同一水平面上，在冷卻管3的上表面固定一層銅編織帶2，屏蔽板1通過螺釘安裝在冷卻管3上，使銅編織帶2緊密壓在屏蔽板1和冷卻管3之間。

底架4通過螺釘將連接板5連接在其下表面，冷卻管3通過螺栓固定在底架4上表面，在冷卻管3的上表面固定一層銅編織帶2，屏蔽板1通過螺釘安裝在冷卻管3上，將銅編織帶2緊密壓在屏蔽板1和冷卻管3之間。底架4與連接板5的連接能保證該裝置的穩定性，并且使其兩側處于同一水平面，利于屏蔽板1與銅編織帶2的貼合，同時銅編織帶2與屏蔽板1和冷卻管3的緊密貼合，能有效增加傳熱面積，達到更好的冷卻效果。

根據本發明的磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統，屏蔽板吸附大量的熱量，通過銅編織帶傳導給冷卻管，利于鍍膜時的散熱。同時，屏蔽板也能吸附大量的陰極濺射物，防止濺射物擴散至整個鍍膜室，污染鍍膜環境，保證了鍍膜的質量，同時能有效的阻擋陰極濺射物吸附到冷卻管的表面，影響其散熱效果。

以上詳細描述了本發明的較佳具體實施例。應當理解，本領域的普通技術人員無需創造性勞動就可以根據本發明的構思做出諸多修改和變化。凡本技術領域中技術人員依本發明的構思在現有技術的基礎上通過邏輯分析、推理或者有限的實驗可以得到的技術方案，皆應在由權利要求書所確定的保護范圍內。