[發(fā)明專利]磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510478853.0 | 申請日： | 2015-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN105063564A | 公開（公告）日： | 2015-11-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 井治;張仰平;劉銳;羅松松;張超群;王程 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國建材國際工程集團(tuán)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海碩力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 200061 上海市普*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 磁控濺射 鍍膜 屏蔽 冷卻系統(tǒng) | ||
1.一種磁控濺射鍍膜線的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，包括屏蔽板、銅編織帶、冷卻管、底架、及連接板，所述連接板通過螺釘將所述底架連接起來，所述冷卻管通過螺栓固定至所述底架，所述冷卻管固定有所述銅編織帶，所述屏蔽板通過螺釘安裝在所述冷卻管上，所述銅編織帶緊密壓在所述屏蔽板和所述冷卻管之間，由此，所述銅編織帶使所述屏蔽板和所述冷卻管緊密貼合，從而增加傳熱面積。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述連接板通過螺釘將所述底架連接在一起，由此保證該裝置兩側(cè)處于同一水平面以增加其支撐的穩(wěn)定性。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻管通過螺栓固定在所述底架的上表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述銅編織帶固定在所述冷卻管的上表面，由此有效增加傳熱面積。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的屏蔽冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述屏蔽板有效吸附陰極濺射物，同時隔絕陰極濺射物吸附在所述冷卻管的表面。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
