[發(fā)明專利]一種曝光設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510475409.3
• 申請(qǐng)日: 2015-08-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105093848B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張鵬飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司44304
• 代理人: 孫偉峰,武岑飛

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種曝光設(shè)備，尤其涉及一種接近式曝光設(shè)備。

背景技術(shù)

目前，現(xiàn)有的接近式曝光設(shè)備在曝光過(guò)程中，其曝光精度會(huì)受到環(huán)境溫度、光罩(Mask)形變以及曝光承載平臺(tái)平坦度等因素的影響。

而在現(xiàn)有的液晶面板的制作過(guò)程中，通常利用接近式曝光設(shè)備在玻璃基板上曝光形成預(yù)定圖案。由于現(xiàn)有的接近式曝光設(shè)備的曝光精度受到上述因素的影響，所以利用這樣的接近式曝光設(shè)備在玻璃基板上曝光形成的預(yù)定圖案的周邊會(huì)出現(xiàn)不規(guī)則的現(xiàn)象。這樣，在之后的對(duì)盒形成液晶面板的過(guò)程中，陣列基板上的薄膜晶體管與彩色濾光片基板上的像素之間會(huì)出現(xiàn)偏差，當(dāng)這個(gè)偏差達(dá)到3μm以上時(shí)，對(duì)盒形成的液晶面板就會(huì)出現(xiàn)漏光和對(duì)比度下降等不良現(xiàn)象，嚴(yán)重影響產(chǎn)品的品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種曝光設(shè)備，光照射系統(tǒng)，用于照射出光線；光優(yōu)化系統(tǒng)，用于接收所述光線，并對(duì)所述光線進(jìn)行光線均勻化；光會(huì)聚系統(tǒng)，用于接收經(jīng)光線均勻化后的光線，并對(duì)經(jīng)光線均勻化后的光線進(jìn)行會(huì)聚；微位移調(diào)整系統(tǒng)，用于對(duì)所述光會(huì)聚系統(tǒng)的邊緣區(qū)域進(jìn)行微位移調(diào)整，從而對(duì)處于所述光會(huì)聚系統(tǒng)的邊緣區(qū)域的光線進(jìn)行光路調(diào)整；光反射系統(tǒng)，用于接收經(jīng)會(huì)聚后的光線，并將經(jīng)會(huì)聚后的光線反射至曝光面。

進(jìn)一步地，所述光會(huì)聚系統(tǒng)為球面聚光鏡。

進(jìn)一步地，所述微位移調(diào)整系統(tǒng)為壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)器；其中，在所述球面聚光鏡的各角落處及各邊中心位置處均設(shè)置壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)器。

進(jìn)一步地，所述球面聚光鏡的各角落處的壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述球面聚光鏡的各角落在具有預(yù)定半徑的圓形區(qū)域內(nèi)微位移移動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述預(yù)定半徑不大于1.4μm。

進(jìn)一步地，所述球面聚光鏡的各邊中心位置處的壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述球面聚光鏡的各邊在具有預(yù)定距離范圍的直線區(qū)域內(nèi)微位移移動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述預(yù)定距離范圍不小于-1.4μm且不大于1.4μm。

進(jìn)一步地，所述光照射系統(tǒng)包括：聚光罩，其截面形狀呈拋物線形；光源，設(shè)置于所述拋物線的頂點(diǎn)處；其中，所述聚光罩對(duì)所述光源產(chǎn)生的光線進(jìn)行會(huì)聚；第一反射鏡，用于將經(jīng)所述聚光罩會(huì)聚后的光線反射至所述光優(yōu)化系統(tǒng)。

進(jìn)一步地，所述光優(yōu)化系統(tǒng)包括：控制開(kāi)關(guān)，用于根據(jù)控制指令打開(kāi)或關(guān)閉；集光器，用于當(dāng)所述控制開(kāi)關(guān)打開(kāi)時(shí)，對(duì)經(jīng)由處于打開(kāi)狀態(tài)的所述控制開(kāi)關(guān)通過(guò)的光線進(jìn)行光線均勻化。

進(jìn)一步地，所述光反射系統(tǒng)包括：第二反射鏡，用于接收經(jīng)所述光會(huì)聚系統(tǒng)會(huì)聚后的光線，并將經(jīng)會(huì)聚后的光線反射至曝光面；照度計(jì)，設(shè)置于所述第二反射鏡之下，用于量測(cè)照射至所述第二反射鏡的光線的照度。

本發(fā)明的有益效果：在聚光鏡的各角落處和各邊的中心位置處設(shè)置壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)器，利用該壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)器對(duì)聚光鏡的角落及邊緣進(jìn)行微位移調(diào)整，使得處于聚光鏡的邊緣區(qū)域中的光線的光路被進(jìn)行微調(diào)節(jié)，優(yōu)化了照射到光罩上的部分光路，實(shí)現(xiàn)對(duì)曝光精度的補(bǔ)正。利用根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的曝光設(shè)備在玻璃基板上曝光形成預(yù)定圖案時(shí)，可以適當(dāng)修正預(yù)定圖案的位置，從而在對(duì)盒形成液晶面板時(shí)，陣列基板上的薄膜晶體管與彩色濾光片基板上的像素之間出現(xiàn)的偏差減小或者不會(huì)出現(xiàn)偏差，進(jìn)而使對(duì)盒形成的液晶面板不出現(xiàn)漏光現(xiàn)象，以提升產(chǎn)品的品質(zhì)。

附圖說(shuō)明

通過(guò)結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述，本發(fā)明的實(shí)施例的上述和其它方面、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，附圖中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的曝光設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的利用壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)器對(duì)球面聚光鏡進(jìn)行微位移調(diào)整的示意圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的曝光光線被微調(diào)整前后的對(duì)曝光圖案的修正示意圖。

具體實(shí)施方式

以下，將參照附圖來(lái)詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，可以以許多不同的形式來(lái)實(shí)施本發(fā)明，并且本發(fā)明不應(yīng)該被解釋為限制于這里闡述的具體實(shí)施例。相反，提供這些實(shí)施例是為了解釋本發(fā)明的原理及其實(shí)際應(yīng)用，從而使本領(lǐng)域的其他技術(shù)人員能夠理解本發(fā)明的各種實(shí)施例和適合于特定預(yù)期應(yīng)用的各種修改。

在附圖中，相同的標(biāo)號(hào)在整個(gè)說(shuō)明書(shū)和附圖中可用來(lái)表示相同的元件。

將理解的是，盡管在這里可使用術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”等來(lái)描述各種元件，但是這些元件不應(yīng)受這些術(shù)語(yǔ)的限制。這些術(shù)語(yǔ)僅用于將一個(gè)元件與另一個(gè)元件區(qū)分開(kāi)來(lái)。

圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的曝光設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。