[發明專利]多頻分光光度計的修正值的獲取方法有效
| 申請號： | 201510470556.1 | 申請日： | 2015-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN105092039B | 公開（公告）日： | 2017-04-12 |
| 發明（設計）人： | 王俐;張維維;敖雪麗 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G01J3/50 | 分類號： | G01J3/50 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙)44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518006 廣東省深圳市光明新區公*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 分光 光度計 修正 獲取 方法 | ||
1.一種多頻分光光度計的修正值的獲取方法，其特征在于，所述方法包括：
建立目標色阻在不同膜厚下與其對應的頻譜的映射關系的數據庫；
準確測量所述目標色阻的待測色片的膜厚DX；
從所述數據庫中選取與所述待測色片的膜厚DX相近的第一膜厚D1、第二膜厚D2及其對應的頻譜T1、T2作為參考頻譜；
利用公式T1＝Aeat1和T2＝Aeat2得到一定波長下所述目標色阻的第一常數A和第二常數a，其中：t1的取值為所述第一膜厚D1，T1為所述第一膜厚D1對應的頻譜；t2的取值為所述第二膜厚D2，T2為所述第二膜厚D2對應的頻譜，e為自然對數的底數；
根據所述第一常數A和所述第二常數a，利用公式T＝Aeat計算出所述待測色片的膜厚DX對應的參考頻譜T，其中，t的取值為所述待測色片的膜厚DX，并將所述待測色片的膜厚DX對應的所述參考頻譜T作為所述多頻分光光度計的修正值。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述多頻分光光度計為單光束的紫外可見分光光度計。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述待測色片的膜厚DX處于所述第一膜厚D1和所述第二膜厚D2之間。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述建立目標色阻在不同膜厚下與其對應的頻譜的映射關系的數據庫的步驟包括：
制作不同膜厚的所述目標色阻的純色片；
利用雙光束的紫外可見分光光度計分別測量所述不同膜厚的所述目標色阻的純色片以得到每一所述膜厚對應的參考頻譜；
建立并儲存所述目標色阻的純色片的膜厚與所述參考頻譜的映射關系，以通過所述映射關系查找所述不同膜厚的所述目標色阻的純色片對應的所述參考頻譜。
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述不同膜厚的所述目標色阻的純色片的膜厚的差值范圍為0.5-1微米。
6.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述不同膜厚的所述目標色阻的純色片的面積為n*n平方厘米，其中，所述n大于所述雙光束的紫外可見分光光度計測量光斑的直徑。
7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述n的范圍為5-10厘米。
8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述目標色阻包括紅色阻、藍色阻和綠色阻。
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