[發(fā)明專利]TFT基板與CF基板的對位方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510459271.8
• 申請日: 2015-07-29
• 公開（公告）號: CN104950506B
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊少甫
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333
• 代理公司: 深圳市德力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所44265
• 代理人: 林才桂

1.一種TFT基板與CF基板的對位方法，包括如下步驟：

步驟1、基于傳統(tǒng)的全距測量法勘合方式以相同的全距標(biāo)準(zhǔn)值制作出多個(gè)TFT基板與多個(gè)CF基板，每一TFT基板上具有TFT側(cè)對位標(biāo)記，每一CF基板上具有分別與TFT側(cè)對位標(biāo)記對應(yīng)的CF側(cè)對位標(biāo)記；

步驟2、分別測量每一TFT基板上的TFT側(cè)對位標(biāo)記的全距實(shí)際值、以及每一CF基板上的CF側(cè)對位標(biāo)記的全距實(shí)際值，并分別計(jì)算每一TFT基板上的TFT側(cè)對位標(biāo)記的全距實(shí)際值與全距標(biāo)準(zhǔn)值的X向偏差值(ΔTP1(X))與Y向偏差值(ΔTP1(Y))、以及每一CF基板上的CF側(cè)對位標(biāo)記的全距實(shí)際值與全距標(biāo)準(zhǔn)值的X向偏差值(ΔTP2(X))與Y向偏差值(ΔTP2(Y))；

其特征在于，還包括：

步驟3、設(shè)定同一參考偏差值范圍，并將所述參考偏差值范圍劃分為多個(gè)群組，將TFT側(cè)對位標(biāo)記的全距實(shí)際值與全距標(biāo)準(zhǔn)值的X向偏差值(ΔTP1(X))與Y向偏差值(ΔTP1(Y))落入不同群組的TFT基板做投入標(biāo)示，將CF側(cè)對位標(biāo)記的全距實(shí)際值與全距標(biāo)準(zhǔn)值的X向偏差值(ΔTP2(X))與Y向偏差值(ΔTP2(Y))落入不同群組的CF基板做投入標(biāo)示；

步驟4、根據(jù)TFT基板上所做的投入標(biāo)示與CF基板上所做的投入標(biāo)示，對TFT基板與CF基板進(jìn)行投入配對；

步驟5、將配對的TFT基板與CF基板對位。

2.如權(quán)利要求1所述的TFT基板與CF基板的對位方法，其特征在于，所述步驟3中設(shè)定的參考偏差值范圍介于-3um與3um之間。

3.如權(quán)利要求2所述的TFT基板與CF基板的對位方法，其特征在于，所述參考偏差值范圍劃分為第一群組、第二群組、及第三群組，-3um≤第一群組＜-1um，-1um≤第二群組＜1um，1um≤第三群組≤3um。

4.如權(quán)利要求3所述的TFT基板與CF基板的對位方法，其特征在于，對TFT側(cè)對位標(biāo)記的全距實(shí)際值與全距標(biāo)準(zhǔn)值的X向偏差值(ΔTP1(X))與Y向偏差值(ΔTP1(Y))均落入第一群組的TFT基板所做的投入標(biāo)示為T1，對X向偏差值(ΔTP1(X))落入第一群組、Y向偏差值(ΔTP1(Y))落入第二群組的TFT基板所做的投入標(biāo)示為T2，對X向偏差值(ΔTP1(X))落入第一群組、Y向偏差值(ΔTP1(Y))落入第三群組的TFT基板所做的投入標(biāo)示為T3，對X向偏差值(ΔTP1(X))落入第二群組、Y向偏差值(ΔTP1(Y))落入第一群組的TFT基板所做的投入標(biāo)示為T4，對X向偏差值(ΔTP1(X))與Y向偏差值(ΔTP1(Y))均落入第二群組的TFT基板所做的投入標(biāo)示為T5，對X向偏差值(ΔTP1(X))落入第二群組、Y向偏差值(ΔTP1(Y))落入第三群組的TFT基板所做的投入標(biāo)示為T6，對X向偏差值(ΔTP1(X))落入第三群組、Y向偏差值(ΔTP1(Y))落入第一群組的TFT基板所做的投入標(biāo)示為T7，對X向偏差值(ΔTP1(X))落入第三群組、Y向偏差值(ΔTP1(Y))落入第二群組的TFT基板所做的投入標(biāo)示為T8，對X向偏差值(ΔTP1(X))與Y向偏差值(ΔTP1(Y))均落入第三群組的TFT基板所做的投入標(biāo)示為T9；

對CF側(cè)對位標(biāo)記的全距實(shí)際值與全距標(biāo)準(zhǔn)值的X向偏差值(ΔTP2(X))與Y向偏差值(ΔTP2(Y))均落入第一群組的CF基板所做的投入標(biāo)示為C1，對X向偏差值(ΔTP2(X))落入第一群組、Y向偏差值(ΔTP2(Y))落入第二群組的CF基板所做的投入標(biāo)示為C2，對X向偏差值(ΔTP2(X))落入第一群組、Y向偏差值(ΔTP2(Y))落入第三群組的CF基板所做的投入標(biāo)示為C3，對X向偏差值(ΔTP2(X))落入第二群組、Y向偏差值(ΔTP2(Y))落入第一群組的CF基板所做的投入標(biāo)示為C4，對X向偏差值(ΔTP2(X))與Y向偏差值(ΔTP2(Y))均落入第二群組的CF基板所做的投入標(biāo)示為C5，對X向偏差值(ΔTP2(X))落入第二群組、Y向偏差值(ΔTP2(Y))落入第三群組的CF基板所做的投入標(biāo)示為C6，對X向偏差值(ΔTP2(X))落入第三群組、Y向偏差值(ΔTP2(Y))落入第一群組的CF基板所做的投入標(biāo)示為C7，對X向偏差值(ΔTP2(X))落入第三群組、Y向偏差值(ΔTP2(Y))落入第二群組的CF基板所做的投入標(biāo)示為C8，對X向偏差值(ΔTP2(X))與Y向偏差值(ΔTP2(Y))均落入第三群組的CF基板所做的投入標(biāo)示為C9。