[發明專利]一種鋁摻氧化鋅透明導電薄膜的制備方法

有效

• 申請號: 201510446527.1
• 申請日: 2015-07-28
• 公開（公告）號: CN105018882B
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 朱華;王艷香;況慧蕓;楊志勝;范學運;郭平春;馮曉煒
• 申請（專利權）人: 朱華
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/34
• 代理公司: 北京國坤專利代理事務所(普通合伙)11491
• 代理人: 郭偉紅

1.一種鋁摻氧化鋅透明導電薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：以三氧化鋁摻雜的氧化鋅陶瓷作為靶材，調節本底真空度為0.5×10^-4或2×10^-4Pa、襯底溫度為80～120℃，以氬為濺射源、工作壓強為0.4～0.8Pa，靶基距為5～7cm，采用梯度濺射功率噴濺1h，得到鋁摻氧化鋅導電薄膜；

所述的三氧化鋁摻雜氧化鋅陶瓷中，三氧化二鋁和氧化鋅的重量分數比為5：100；3:90及1:99；

所述的三氧化鋁摻雜的氧化鋅陶瓷的制備方法，包括以下步驟：分別稱取三氧化二鋁和氧化鋅后，均勻混合，經壓片燒結后制得；

所述燒結溫度為1250～1340℃；

所述梯度濺射功率包括以下步驟：濺射初期5分鐘內濺射功率為50～70W、5～10分鐘75～90W、而后功率提高到95～120W；

所述的鋁摻氧化鋅透明導電薄膜，紫外可見光范圍為400～900nm，光透過率為90～98％、電阻率為1.2×10^-4～2.5×10^-4歐姆·厘米。