[發明專利]蒸鍍設備及蒸鍍方法

有效

• 申請號: 201510438233.4
• 申請日: 2015-07-23
• 公開（公告）號: CN105154820B
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發明（設計）人: 丁立薇;黨鵬樂;朱暉;張小寶
• 申請（專利權）人: 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司;昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L21/32
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 唐清凱

技術領域

本發明涉及AMOLED顯示技術領域，特別是涉及一種蒸鍍設備及蒸鍍方法。

背景技術

隨著科技的進步及電子行業的飛速發展，平板顯示器已廣泛應用于各個領域。隨著市場需求的不斷增加，要求平板顯示器進一步的大型化、高畫質化、低消耗電力化。有源矩陣有機發光二極體面板(Active Matrix/Organic Light Emitting Diode簡稱AMOLED)作為全固體型、在低電壓驅動、高速應答性、自發光性等方面的優勢的顯示裝置，受到了越來越大的關注。

AMOLED的基本結構包括：基板、薄膜晶體管(TFT)部分、有機發光二極管(OLED)部分、封裝等。其中有機發光二極管部分包括有空穴注入層(HIL)、空穴輸送層(HTL)、電子阻擋層、發光層、空穴阻擋層、電子輸送層(ETL)、電子注入層(EIL)等。有機發光二極管部分制作工藝多采用掩模蒸鍍方式。在制作大尺寸AMOLED屏體時，蒸鍍掩模板在使用過程中，由于蒸鍍設備的結構限制，蒸鍍掩膜板需對抗重力作用，因此容易產生不同程度的變形，從而導致蒸鍍位置偏差或混色，使蒸鍍AMOLED的難以高精細化。

發明內容

基于此，有必要針對蒸鍍掩模板在使用過程中易產生變形的問題，提供一種使蒸鍍掩膜板不易變形的蒸鍍設備及蒸鍍方法。

一種蒸鍍設備，用于蒸鍍AMOLED基板，所述蒸鍍設備包括：

基板載物臺，用于承載所述AMOLED基板；

蒸鍍掩膜板，開設有作為蒸鍍圖案的空槽，所述蒸鍍掩膜板壓設于所述AMOLED基板；

蒸發源裝置，與所述基板載物臺相鄰，用于提供蒸鍍材料；

蒸鍍阻擋裝置，罩設于所述蒸鍍掩膜板及所述蒸發源裝置，并與所述蒸鍍掩膜板及所述蒸發源裝置形成蒸鍍腔。

上述蒸鍍設備，蒸鍍掩模板壓設于AMOLED基板，通過自身重量貼合于AMOLED基板，蒸發源裝置提供的蒸鍍材料在蒸發后由于蒸鍍阻擋裝置的反射而附著在AMOLED基板上。如此，在蒸鍍過程中，蒸鍍掩膜板無需外力支持即可完全貼合于AMOLED基板，因此其形狀在蒸鍍過程中不發生變化，從而避免因蒸鍍掩模板及AMOLED基板倒置而蒸鍍位置的偏差或混色。

在其中一個實施例中，所述蒸發源裝置包括蒸發源及蒸發源動力系統，所述蒸發源動力系統緊靠所述基板載物臺側壁，所述蒸發源置于所述蒸發源動力系統靠近所述蒸鍍阻擋裝置的一端，所述蒸發源為所述AMOLED基板提供所述蒸鍍材料，所述蒸發源動力系統為所述蒸發源提供熱量源以蒸發所述蒸鍍材料。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍阻擋裝置處于蒸鍍狀態下的溫度高于所述蒸發源動力系統處于蒸鍍狀態下的溫度。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍阻擋裝置的內壁遠離所述蒸鍍掩膜板的彎折部分呈弧狀。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍設備還包括電磁搬運裝置，所述電磁搬運裝置用于吸附并貼合所述蒸鍍掩膜板，并將所述蒸鍍掩膜板放置于所述AMOLED基板遠離所述基板載物臺一側的表面。

在其中一個實施例中，所述電磁搬運裝置包括面積大于所述蒸鍍掩膜板，并相對設置的第一面板及第二面板，所述蒸鍍掩膜板被所述第一面板吸引并完全貼合于所述第一面板，所述第二面板可移動至所述基板載物臺未設有所述AMOLED基板一側，對所述蒸鍍掩膜板提供朝向第一面板方向的力。

一種蒸鍍方法，所述蒸鍍方法包括以下步驟：

將AMOLED基板放置于基板載物臺的預設位置，以使所述基板載物臺承載所述AMOLED基板；

將蒸鍍掩膜板對位并壓設于所述AMOLED基板；

移動蒸發源裝置及蒸鍍阻擋裝置至預定位置；

對所述AMOLED基板進行蒸鍍。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍方法還包括：

關閉并移除所述蒸發源裝置及所述蒸鍍阻擋裝置；

移除所述蒸鍍掩膜板；

移出所述AMOLED基板。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍阻擋裝置處于蒸鍍狀態下的溫度高于所述蒸發源裝置處于蒸鍍狀態下的溫度。

在其中一個實施例中，將蒸鍍掩膜板對位并壓設于所述AMOLED基板的具體步驟為：

利用電磁吸引所述蒸鍍掩膜板，將所述蒸鍍掩膜板搬運至所述AMOLED基板上。

附圖說明

圖1為一實施例的蒸鍍設備的結構示意圖；

圖2為圖1所示的蒸鍍設備移動所述蒸鍍掩膜板的示意圖；

圖3為一實施例的蒸鍍方法的示意圖。

具體實施方式