[發(fā)明專利]基板裂斷裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510428431.2
• 申請日: 2015-07-20
• 公開（公告）號: CN105382936A
• 公開（公告）日: 2016-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱阮鏞;李鐘禹
• 申請（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B28D1/00
• 分類號: B28D1/00;B28D5/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及是一種基板裂斷裝置，特別是涉及一種基板裂斷裝置，能夠?qū)⑿纬捎锌虅澗€的基板借由非接觸方式有效地進(jìn)行分?jǐn)唷?/p>

背景技術(shù)

一般而言，做為脆性材料基板的分?jǐn)嘌b置，使用刻劃裝置及裂斷裝置。刻劃裝置是于基板形成刻劃線，裂斷裝置是將預(yù)先形成有刻劃線的基板進(jìn)行裂斷時使用。

裂斷是包含下述概念，在結(jié)晶性材料的基板，于容易分?jǐn)嗟慕Y(jié)晶的特定方位將基板分開劈開的情形；與結(jié)晶的方位無關(guān)將基板分開的情形；或是將對多結(jié)晶或非晶質(zhì)材料等的特定方位的不具有結(jié)晶性的基板分開的情形。

在于基板沿著分?jǐn)囝A(yù)定線形成刻劃線后，雖為了將基板完全分?jǐn)喽鴮嵤┝褦嗖襟E，但在基板的裂斷方法中，有著使用輥或推動器等而于基板施加沖擊的接觸式方法，以及使用激光或者蒸氣等而使基板加熱后使其冷卻的非接觸方法。

然而，接觸式方法存在下述問題，于基板施加物理性沖擊而導(dǎo)致表面產(chǎn)生不良，產(chǎn)生誤差及無法適用的范疇較大。又，非接觸式方法中，存在下述問題，雖利用基板的熱變化進(jìn)行膨脹收縮，但于熱變化進(jìn)行的拉伸力較小的材料中效果較差。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，解決前述問題，而提供一種基板裂斷裝置，所要解決的技術(shù)問題是使其以非接觸方式使不良率降低，也使分?jǐn)嗔μ嵘?/p>

本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種基板裂斷裝置，其包含：吸氣單元，以鄰接于形成有刻劃線的基板的面的方式設(shè)置，將形成有前述刻劃線的面?zhèn)鹊目諝馕耄慌艢鈫卧O(shè)于前述吸氣單元的兩側(cè)且向前述基板的面將空氣排出。

本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實現(xiàn)。

前述的基板裂斷裝置，進(jìn)一步包含：升降單元，連接于前述吸氣單元及前述排氣單元的一端，而使前述吸氣單元及前述排氣單元向前述基板以接近或相離的方式移動。

前述的基板裂斷裝置，其中，前述升降單元，可以是與前述吸氣單元及前述排氣單元連接的線性臺。

前述的基板裂斷裝置，能夠進(jìn)一步包含：移送單元，設(shè)于前述吸氣單元及前述排氣單元的兩側(cè)面，且將前述基板一面支承一面移送；引導(dǎo)單元，設(shè)于前述移送單元的一端，且對與借由前述移送單元支承的前述基板的面相反側(cè)的面進(jìn)行引導(dǎo)。

前述的基板裂斷裝置，能夠進(jìn)一步包含：空氣刀單元，于與前述基板的形成有前述刻劃線的面相反側(cè)，以與前述吸氣單元對向的方式設(shè)置，且向前述基板的形成有前述刻劃線的面相反側(cè)的面噴射壓縮空氣。

前述的基板裂斷裝置，能夠進(jìn)一步包含：刀刃驅(qū)動單元，使前述空氣刀單元向前述基板接近或相離的方式移動。

前述的基板裂斷裝置，其中，前述刀刃驅(qū)動單元，可以是與前述空氣刀單元連接的線性臺。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明基板裂斷裝置至少具有下列優(yōu)點及有益效果：根據(jù)本發(fā)明的基板裂斷裝置能夠以非接觸方式使不良率降低，也使分?jǐn)嗔μ嵘?/p>

綜上所述，本發(fā)明是有關(guān)于一種基板裂斷裝置，防止接觸式裂斷的問題即誤差的產(chǎn)生或接觸面的異物的產(chǎn)生，且使分?jǐn)鄷r的不良率減少。該基板裂斷裝置包含：吸氣單元，以鄰接于形成有刻劃線的基板的面的方式設(shè)置，將形成有前述刻劃線的面?zhèn)鹊目諝馕耄慌艢鈫卧O(shè)于前述吸氣單元的兩側(cè)且向前述基板的面將空氣排出。本發(fā)明在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并具有明顯的積極效果，誠為一新穎、進(jìn)步、實用的新設(shè)計。

上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的一實施例的基板裂斷裝置的構(gòu)成的圖。

1：基板裂斷裝置10：基板

11：刻劃線100：吸氣單元

200：排氣單元300：升降單元

400：移送單元500：引導(dǎo)單元

600：空氣刀單元620：刀刃驅(qū)動單元

具體實施方式

為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的基板裂斷裝置其具體實施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。為了方便說明，在以下的實施例中，相同的元件以相同的編號表示。