[發明專利]基板裂斷裝置在審
| 申請號： | 201510428431.2 | 申請日： | 2015-07-20 |
| 公開（公告）號： | CN105382936A | 公開（公告）日： | 2016-03-09 |
| 發明（設計）人： | 朱阮鏞;李鐘禹 | 申請（專利權）人： | 三星鉆石工業股份有限公司 |
| 主分類號： | B28D1/00 | 分類號： | B28D1/00;B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基板裂斷 裝置 | ||
1.一種基板裂斷裝置，其特征在于，其包含：
吸氣單元，以鄰接于形成有刻劃線的基板的面的方式設置，將形成有前述刻劃線的面側的空氣吸入；
排氣單元，設于前述吸氣單元的兩側且向前述基板的面將空氣排出。
2.根據權利要求1所述的基板裂斷裝置，其特征在于，其進一步包含：升降單元，連接于前述吸氣單元及前述排氣單元的一端，而使前述吸氣單元及前述排氣單元向前述基板以接近或相離的方式移動。
3.根據權利要求2所述的基板裂斷裝置，其特征在于，其中，前述升降單元，是與前述吸氣單元及前述排氣單元連接的線性臺。
4.根據權利要求1所述的基板裂斷裝置，其特征在于，其進一步包含：移送單元，設于前述吸氣單元及前述排氣單元的兩側面，且將前述基板一面支承一面移送；引導單元，設于前述移送單元的一端，且對與借由前述移送單元支承的前述基板的面相反側的面進行引導。
5.根據權利要求1所述的基板裂斷裝置，其特征在于，其進一步包含：空氣刀單元，于與前述基板的形成有前述刻劃線的面相反側，以與前述吸氣單元對向的方式設置，且向前述基板的形成有前述刻劃線的面相反側的面噴射壓縮空氣。
6.根據權利要求5所述的基板裂斷裝置，其特征在于，其進一步包含：刀刃驅動單元，使前述空氣刀單元向前述基板接近或相離的方式移動。
7.根據權利要求6所述的基板裂斷裝置，其特征在于，其中，前述刀刃驅動單元，是與前述空氣刀單元連接的線性臺。
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