[發(fā)明專利]流量補(bǔ)償方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510420834.2
• 申請日: 2015-07-17
• 公開（公告）號: CN106695567B
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金一諾;王堅;王暉
• 申請（專利權(quán)）人: 盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

1.一種流量補(bǔ)償方法，其特征在于，包括：

選擇一個腔體作為基準(zhǔn)腔體，向基準(zhǔn)腔體中輸入液體，基準(zhǔn)腔體的噴頭噴射液體形成液柱，記錄液柱高度為基準(zhǔn)高度，記錄基準(zhǔn)腔體的液體流量為基準(zhǔn)流量；

選擇另一腔體作為對照腔體，向?qū)φ涨惑w中輸入液體，對照腔體的噴頭噴射液體形成液柱，調(diào)節(jié)對照腔體的流體流量以使得對照腔體的液柱達(dá)到基準(zhǔn)高度，記錄對照腔體的液體流量為對照流量，計算對照流量與基準(zhǔn)流量的差值為該對照腔體的補(bǔ)償值；

繼續(xù)選擇其他腔體作為對照腔體并分別計算各個對照腔體的補(bǔ)償值，直至參與工藝流程的所有腔體的補(bǔ)償值都計算完畢；

在工藝流程中，向基準(zhǔn)腔體提供的液體為基準(zhǔn)流量，向其他腔體提供的液體流量為：基準(zhǔn)流量+該腔體的補(bǔ)償值。

2.如權(quán)利要求1所述的流量補(bǔ)償方法，其特征在于：

所述液體是拋光液。

3.如權(quán)利要求1所述的流量補(bǔ)償方法，其特征在于，

所述噴頭向上方噴射液體。

4.如權(quán)利要求1所述的流量補(bǔ)償方法，其特征在于，

所述各個對照腔體的補(bǔ)償值記錄在數(shù)據(jù)庫中，供控制系統(tǒng)調(diào)用。