[發明專利]一種磨削晶圓表面腐蝕裝置

有效

• 申請號: 201510420064.1
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN105023865B
• 公開（公告）日: 2017-10-10
• 發明（設計）人: 秦飛;孫敬龍;安彤;陳沛;宇慧平;王仲康;唐亮
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/306
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司11203
• 代理人: 劉萍

1.一種磨削晶圓表面腐蝕裝置，其特征在于:包括：支腳、回收槽部分、吸盤支架部分、吸盤和液體承載部分；所述支腳(101)由支腳固定螺栓(404)與回收槽(102)連接；所述回收槽部分包括：導軌(103)、卡釘(206)、真空控制開關(401)、廢液排放口(201)、廢液排放口固定螺栓(402)、管道口(202)、管道口固定螺栓；導軌(103)設在回收槽(102)頂端兩側對稱位置；導軌(103)端部設有卡釘(206)限制滑動腳(205)脫離軌道；真空控制開關(401)、廢液排放口(201)、管道口(202)位于回收槽(102)底端，真空控制開關(401)控制吸盤(105)抽真空，廢液排放口固定螺栓(402)將廢液排放口(201)固定于回收槽(102)、管道口固定螺栓(403)固定管道口(202)；所述吸盤支架部分包括：吸盤支架底座(704)、吸盤支架底座螺孔(705)、吸盤支架柱(703)、吸盤支架承臺(104)、吸盤支架承臺螺孔、吸盤支架柱(703)內部設有中空管道(702)；吸盤支架底座(704)與回收槽(102)底部中心區域連接，吸盤支架底座螺孔(705)與回收槽(102)螺孔對齊，吸盤支架柱(703)連接吸盤支架底座(704)和吸盤支架承臺(104)，吸盤支架柱(703)設置管道(702)與吸盤的腔室連通，吸盤(105)與吸盤支架承臺(104)通過螺栓固結；液體承載部分包括：支柱(106)、橫梁(107)、橫梁固定螺栓(108)、導軌梁固定螺栓(109)、導軌梁(110)、酸液盛放槽(111)、酸液盛放槽固定螺栓(903)、清水盛放槽固定螺栓(902)、清水盛放槽(112)、滑動腳(205)、滴嘴(207)、滴嘴固定螺栓(901)、排液控制閥門(301)、滑動梁(302)、清水排出口(1001)、酸液排出口(1002)；滑動腳(205)與支柱(106)固結，支柱(106)與橫梁(107)通過橫梁固定螺栓(108)連接，橫梁(107)與導軌梁(110)由導軌梁固定螺栓(109)連接，酸液盛放槽(111)和清水盛放槽(112)與滑動梁(302)由螺栓固定，排液控制閥門(301)控制酸液和清水排放。

2.根據權利要求1所述一種磨削晶圓表面腐蝕裝置，其特征在于，吸盤(105)與吸盤支架承臺(104)之間有密封墊。

3.根據權利要求1所述一種磨削晶圓表面腐蝕裝置，其特征在于，排液控制閥門(301)控制清水排出口(1001)、酸液排出口(1002)其中一個與滴嘴(207)連通，或使兩者均關閉。

4.根據權利要求1所述一種磨削晶圓表面腐蝕裝置，其特征在于，滴嘴(207)位于滑動梁(302)中心處。