[發明專利]檢查裝置

有效

• 申請號: 201510419446.2
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN105510797B
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 中野雅廣
• 申請（專利權）人: 富士施樂株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

本發明提供檢查裝置，檢查裝置具備：移動部，其能夠在檢查基板的檢查位置與裝卸基板的裝卸位置之間移動；按壓部，其從處于檢查位置的移動部的上側下降至下降位置，將基板按壓至移動部；定位部，其在按壓部將基板按壓至移動部時將移動部至少在其移動方向上相對于按壓部定位；下降部，其在移動部處于檢查位置的狀態下相對于處于下降位置的按壓部獨立地從檢查位置的上側下降，并且下降部具有第1接觸部，第1接觸部與配置在基板的上表面上的第1被接觸部電接觸；以及上升部，其在移動部處于檢查位置的狀態下相對于處于下降位置的按壓部獨立地從檢查位置的下側上升，并且上升部具有第2接觸部，第2接觸部與配置在基板的下表面上的第2被接觸部電接觸。

技術領域

本發明涉及檢查裝置。

背景技術

日本國特開2000-199780號公報公開了這樣的檢查裝置：通過使上部單元下降并使上部單元的探頭與印刷基板的上表面接觸，同時，使下部單元上升并使下部單元的探頭與印刷基板的下表面接觸，來進行印刷基板的檢查。

在進行基板的檢查的檢查裝置中，在將基板設置于移動部的情況下，由于移動部能夠移動，因此，在按壓部將基板按壓至移動部時，存在基板和按壓部發生位置偏移的情況。

發明內容

本發明的目的在于，在將基板設置于能夠移動的移動部上的結構中，與在按壓部將基板按壓至移動部時移動部移動自如的情況相比，能夠抑制在按壓部將基板按壓至移動部時的按壓部與基板之間的位置偏移。

根據本發明的第1方案，提供一種檢查裝置，該檢查裝置具備：移動部，其能夠在檢查基板的檢查位置與裝卸該基板的裝卸位置之間移動；按壓部，其從處于該檢查位置的該移動部的上側下降至下降位置，將該基板按壓至該移動部；定位部，其在該按壓部將該基板按壓至該移動部時將該移動部至少在該移動部的移動方向上相對于該按壓部定位；下降部，其在所述移動部處于所述檢查位置的狀態下相對于處于所述下降位置的按壓部獨立地從所述檢查位置的上側下降，并且該下降部具有第1接觸部，該第1接觸部與配置在所述基板的上表面上的第1被接觸部電接觸；以及上升部，其在所述移動部處于所述檢查位置的狀態下相對于處于所述下降位置的按壓部獨立地從所述檢查位置的下側上升，并且該上升部具有第2接觸部，該第2接觸部與配置在所述基板的下表面上的第2被接觸部電接觸。

根據本發明的第2方案，所述檢查裝置具備：第1下降機構，其使所述按壓部下降至所述下降位置；上升機構，其在所述按壓部下降至所述下降位置后使所述上升部上升而使所述第2接觸部與所述第2被接觸部電接觸；以及第2下降機構，其在所述第2接觸部與所述第2被接觸部接觸的狀態下使所述下降部下降而使所述第1接觸部與所述第1被接觸部電接觸。

根據本發明的第3方案，所述檢查裝置具備定位部件，所述定位部件設置于所述下降部和所述上升部中的一方，所述第2下降機構使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述下降部和所述上升部中的另一方，相對于所述下降部對所述上升部進行定位。

根據本發明的第4方案，所述檢查裝置具備定位部件，所述定位部件設置于所述下降部，所述第2下降機構使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述基板中，相對于所述基板對所述下降部進行定位。

根據本發明的第5方案，所述檢查裝置具備定位部件，所述檢查裝置具備定位部件，所述定位部件設置于所述上升部，所述上升機構使所述上升部上升而使所述定位部件被插入所述基板中，相對于所述基板對所述上升部進行定位。

根據本發明的第6方案，所述檢查裝置具備支承體，該支承體支承所述移動部、所述下降部以及所述上升部，所述移動部、所述下降部以及所述上升部朝向與面對所述檢查位置的所述裝卸位置相反的一側相對于所述支承體裝卸。

根據本發明的第7方案，所述檢查裝置具備檢測部，所述檢測部配置于所述裝卸位置的下側，對所述基板相對于所述移動部的翹起進行檢測。