[發明專利]檢查裝置

有效

• 申請號: 201510419446.2
• 申請日: 2015-07-16
• 公開（公告）號: CN105510797B
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 中野雅廣
• 申請（專利權）人: 富士施樂株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種檢查裝置，其中，

所述檢查裝置具備：

移動部，其能夠在檢查基板的檢查位置與裝卸該基板的裝卸位置之間移動；

按壓部，其從處于該檢查位置的該移動部的上側下降至下降位置，將該基板按壓至該移動部；

定位部，其在該按壓部將該基板按壓至該移動部時將該移動部至少在該移動部的移動方向上相對于該按壓部定位；

下降部，其在所述移動部處于所述檢查位置的狀態下相對于處于所述下降位置的按壓部獨立地從所述檢查位置的上側下降，并且該下降部具有第1接觸部，通過使該下降部下降，從而使該第1接觸部與配置在所述基板的上表面上的第1被接觸部電接觸；以及

上升部，其在所述移動部處于所述檢查位置的狀態下相對于處于所述下降位置的按壓部獨立地從所述檢查位置的下側上升，并且該上升部具有第2接觸部，通過使該上升部上升，從而使該第2接觸部與配置在所述基板的下表面上的第2被接觸部電接觸。

2.根據權利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述檢查裝置具備：

第1下降機構，其使所述按壓部下降至所述下降位置；

上升機構，其在所述按壓部下降至所述下降位置后使所述上升部上升而使所述第2接觸部與所述第2被接觸部電接觸；以及

第2下降機構，其在所述第2接觸部與所述第2被接觸部接觸的狀態下使所述下降部下降而使所述第1接觸部與所述第1被接觸部電接觸。

3.根據權利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述檢查裝置具備定位部件，所述定位部件設置于所述下降部和所述上升部中的一方，所述第2下降機構使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述下降部和所述上升部中的另一方，相對于所述下降部對所述上升部進行定位。

4.根據權利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述檢查裝置具備定位部件，所述定位部件設置于所述下降部，所述第2下降機構使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述基板中，相對于所述基板對所述下降部進行定位。

5.根據權利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述檢查裝置具備定位部件，所述定位部件設置于所述上升部，所述上升機構使所述上升部上升而使所述定位部件被插入所述基板中，相對于所述基板對所述上升部進行定位。

6.根據權利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述檢查裝置具備支承體，該支承體支承所述移動部、所述下降部以及所述上升部，

所述移動部、所述下降部以及所述上升部朝向與面對所述檢查位置的所述裝卸位置相反的一側相對于所述支承體裝卸。

7.根據權利要求1～6中的任意一項所述的檢查裝置，其中，

所述檢查裝置具備檢測部，所述檢測部配置于所述裝卸位置的下側，對所述基板相對于所述移動部的翹起進行檢測。

8.根據權利要求7所述的檢查裝置，其中，

所述檢查裝置具備移動機構，在所述基板相對于所述移動部的翹起處于允許范圍內的情況下，該移動機構使所述移動部向所述檢查位置移動。