[發明專利]反應精餾處理硅烷尾氣的裝置和方法

在審

• 申請號: 201510413200.4
• 申請日: 2015-07-14
• 公開（公告）號: CN104925815A
• 公開（公告）日: 2015-09-23
• 發明（設計）人: 黃國強
• 申請（專利權）人: 黃國強
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 王麗

1.一種反應精餾處理硅烷尾氣的裝置；其特征是裝置為精餾塔；精餾塔設置有精餾段、反應段和提餾段；在精餾段上設置有塔頂冷凝器，塔釜設置有再沸器，精餾段和提餾段中設置有規整填料，反應段中設置有結構催化劑，塔頂設置有尾氣出口；在精餾段和反應段之間設置有氯硅烷入口，在反應段和提餾段之間設置有硅烷尾氣入口；塔釜與精餾段和反應段之間某處安裝循環泵，他們之間通過管道連接；塔釜上設置有三氯硅烷采出口。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征是精餾段和提餾段塔板數分別在10～200。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征是所述的結構催化劑是將催化劑填于耐腐蝕工業布袋中，與波紋填料間隔成卷狀。

4.利用權利要求1裝置進行反應精餾處理硅烷尾氣的方法；其特征是：將氯硅烷從氯硅烷入口中加入到反應精餾塔中，硅烷尾氣從硅烷尾氣入口中加入到反應精餾塔，硅烷尾氣和氯硅烷在反應段發生反應，其中氯硅烷是四氯化硅、三氯氫硅、二氯氫硅中兩種或三種混合物，氯硅烷和部分不與氯硅烷反應的尾氣在精餾段分離，氯硅烷在塔頂冷凝器冷凝，殘留尾氣從尾氣出口采出，氯硅烷和部分硅烷尾氣在提餾段分離，氯硅烷回流至塔釜，循環泵將大部分氯硅烷循環至反應段上段，部分氯硅烷并從塔釜采出口采出。

5.如權利要求4所述的方法，其特征是催化劑是活性氧化鋁、氯化鋁、溴化鋁、胺基堿性樹脂或者它們的復配物。

6.如權利要求5所述的裝置，其特征是催化劑胺基堿性樹脂為D66、A21、A100或D301R。

7.如權利要求4所述的方法，其特征是反應段溫度為0～200℃，全塔壓力為0～10MPa。

8.如權利要求4所述的方法，其特征是氯硅烷中四氯化硅與三氯氫硅摩爾比0.1～1000：1。

9.如權利要求4所述的方法，其特征是氯硅烷中四氯化硅、三氯氫硅和二氯氫硅摩爾比(1～10000)：100：(10000～1)。