[發明專利]一種電子級砷烷中水分含量的分析方法

在審

• 申請號: 201510387625.2
• 申請日: 2015-07-02
• 公開（公告）號: CN104965012A
• 公開（公告）日: 2015-10-07
• 發明（設計）人: 周慶美;李東升;曾慶騰
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技有限公司
• 主分類號: G01N27/28
• 分類號: G01N27/28
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 翁若瑩

1.一種電子級砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，包括：將電子級砷烷輸入電解池，所述的電解池內裝有電極，電極表面具有吸濕性材料涂層，砷烷中的水分子在吸濕性材料涂層的吸附作用下富集在電極表面，給電極施加電壓，水分子被電極電解產生電流，通過所產生的電流值計算砷烷中的水分含量。

2.如權利要求1所述的電子級砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，所述的電解池為中空的石英管，電子級砷烷以一定的流量從中空的石英管中流過。

3.如權利要求1所述的電子級砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，所述的電子級砷烷的流量為50～100cc/min。

4.如權利要求2所述的電子級砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，所述的石英管長50～100mm，外徑1～5mm，內徑0.5～2mm。

5.如權利要求2所述的電子級砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，所述的石英管的內壁上設有電極。

6.如權利要求2所述的電子級砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，所述的石英管的內壁上分布有多個電極對，每個電極對由相對設置的一個正極和一個負極組成，所述的正極和負極均為弧形，沿所述的石英管的周向設置，同一電極對設于石英管的同一截面上。

7.如權利要求1所述的電子級砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，所述的吸濕性材料為五氧化二磷。

8.如權利要求1所述的電子級砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，所述的電壓為直流電壓。

9.如權利要求1所述的電子級砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，所述的計算方法為：根據電流定律和法拉第電解定律計算出有多少個水分子被電解，根據理想氣體狀態方程，計算出有多少個砷烷分子，進而得到砷烷中的水分含量。